الركيزة قبة

أربعة قسم القبة ( أو φ 1200mm )

أقصى سرعة دوران القبة

30 دورة في الدقيقة / دقيقة ( متغير )

الكريستال رصد سماكة الفيلم

XTC / 3 زائد 6 نقاط استشعار دوارة

تبخر المصدر

اي بي سورس

أداء

الحد من الضغط

7 × 10-5pa أو أقل

سرعة الضخ

10 دقائق ( من الضغط الجوي إلى 3 × 10-3pa )

أعلى درجة حرارة التدفئة الركيزة .

درجة مئوية

متطلبات المرافق العامة

آثار أقدام

4500 ملم ( عرض ) × 6000 ملم ( عمق ) × 3200 ملم ( ارتفاع )

قوة إمداد تموين

ثلاث مراحل ، 200 فولت ، 50 / 60 هرتز ، 80 كيلو فولت أمبير ، حوالي .

الحد الأدنى من تدفق المياه

دقيقة

ضغط الهواء

0.5-0.7 ميغاباسكال

وزن .

حوالي 6500 كجم .