غرفة العلاقات العامة: SUS304، φ2350 × H1950 مم

حامل الركيزة

قابلة للاختيار 15 - 22 قطعة

نظام طبل الركيزة الدوارة

φ2245 مم، نوع الطبل، 10 دورات في الدقيقة - 50 دورة في الدقيقة (قابل للتعديل)

مصدر التفاعل

ICP (بلازما مقترنة استقراضياً)

مصدر الرش

كاثود دوار مزدوج (نوع Planer كخيار)

نظام الإخلاء

مضخة خشنة، مضخة جزيئية توربو، مبرد ميسنر

أداء

الضغط النهائي

غرفة LL: 10 Pa
غرفة العلاقات العامة: ≤2.0 × 10-4 Pa

مضخة أسفل معدل

غرفة LL: 8 دقائق (من الغلاف الجوي إلى 10 Pa)
غرفة العلاقات العامة: 40 دقيقة (من الغلاف الجوي إلى 9.0 × 10-4 Pa)

متطلبات المرافق

البصمة

7000 مم (W) × 6600 مم (D) × 4000 مم (H)

إمدادات الطاقة

3 مرحلة N G، 380V ± 5٪، 300kVA، 50 / 60Hz

Min. معدل تدفق المياه

400 ق / دقيقة أو أكثر (الضغط: 0.6 - 0.7 ميجا باس)

ضغط الهواء المضغوط

0.5 ميجا باس - 0.7 ميجا باس

الوزن الإجمالي

30000 كيلوغرام تقريبا.