قبة الركيزة

φ 870 مم

ماكس. سرعة الدوران القبة

10 - 30 دورة في الدقيقة

كريستال فليم سمك المراقبة

6 نقطة مستشعر دوار

مصدر أيون

مصدر البلازما التفاعلي

أداء

الضغط النهائي

1.0E-4 Pa أو أقل

سرعة الضخ

20 دقيقة (من الضغط الجوي إلى 1.3 × 10-3 Pa)

متطلبات المرافق

البصمة

4000 مم (W) × 6000 مم (D) × 2800 مم (H) تقريباً.

إمدادات الطاقة

ثلاثية المراحل، 200 فولت ± 5٪، 75 كيلوفولت، تقريبا.

الحد الأدنى من تدفق المياه

80 ق / دقيقة أو أكثر

ضغط الهواء

0.5 ميجا باس - 0.7 ميجا باس

الوزن

4000 كيلوغرام تقريباً