Anwendungsbereich:
Diese Ausrüstung wird hauptsächlich für einseitiges Präzisionsschleifen von Saphirsubstrat, Saphirepitaxialen Wafer, Si, keramischen Wafer, Quarzkristall, SiC, Ge und anderen Halbleitermaterialien verwendet.
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1. Dies ist eine einseitige Präzisions-Läppmaschine. Es nimmt fortschrittliche mechanische Struktur und Kontrollmethode an und hat hohe Poliereffizienz und stabilen Betrieb.
2.Die ganze Maschine nimmt SPS-Touchscreen-Steuersystem an, Ausrüstungsparameter können hier eingestellt werden, die einfach zu bedienen ist.
3. Der Hauptmotor nimmt variable Frequenzdrehzahlregelung an, um den Weichstart und den Weichstopp des Hauptmotors zu realisieren.
4.Die Zylinderdruckmethode wird angenommen, und die geschlossene Regelregelung des Drucks wird durch die Steuerung des elektrischen Proportionalventils realisiert, das extrem hohe Druckanwendungsgenauigkeit und Stabilität gewährleistet.
5.Das Vakuumfutter wird von einem Servomotor angetrieben, um die Gleichmäßigkeit des Polierens an jeder Station unter der Voraussetzung sicherzustellen, dass die Polierrate des Produkts sichergestellt wird.
6.Both die Polierplatte und die obere Druckplatte sind mit Kühlwasserkühlfunktion ausgestattet. Es gewährleistet die maximale Effizienz der Polierflüssigkeit und reduziert die Verformung der Polierscheibenoberfläche.
7.Die Ausrüstung ist mit einem Lap-Plattenkorrekturgerät ausgestattet, und der Ebenheitsbereich der Plattenoberfläche nach der Korrektur ist 0.005-0.008mm.
Technische Hauptparameter:
Modell |
TY-7104XA |
TY-8104XA |
TY-9104XA |
Spezifikation der Platte |
700x250x12mm |
810x255x12mm |
910x250x12mm |
Keramikplattendurchmesser |
240~260mm |
305mm |
360mm |
Hauptmotorleistung |
5,5KW/380V |
7,5KW/380V |
7,5KW/380V |
Leistung des Druckplattenmotors |
0,4KW/380Vx4 |
0,4KW/380Vx4 |
0,4KW/380Vx4 |
Motorleistung der Korrekturvorrichtung |
0,2KW/380V |
0,2KW/380V |
0,2KW/380V |
Hauptdrehzahl des Motors |
10-100rpm(max) |
5-90rpm(max) |
5-90rpm(max) |
Arbeitsplatz |
4个 |
4个 |
4个 |
Schleifplattenmodus ändern |
Automatische Korrektur |
Automatische Korrektur |
Automatische Korrektur |
Gesamtabmessungen |
1050x1950x2300mm |
1200x2200x2500mm |
1200x1800x2300mm |
Gewicht |
2100KG |
2350KG |
2500KG |
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