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CMP Lapping Maschine

Anwendungsbereich:

Diese Ausrüstung wird hauptsächlich für einseitiges Präzisionsschleifen von Saphirsubstrat, Saphirepitaxialen Wafer, Si, keramischen Wafer, Quarzkristall, SiC, Ge und anderen Halbleitermaterialien verwendet.

Produktdetails
Ausstattung:

1. Dies ist eine einseitige Präzisions-Läppmaschine. Es nimmt fortschrittliche mechanische Struktur und Kontrollmethode an und hat hohe Poliereffizienz und stabilen Betrieb.

2.Die ganze Maschine nimmt SPS-Touchscreen-Steuersystem an, Ausrüstungsparameter können hier eingestellt werden, die einfach zu bedienen ist.

3. Der Hauptmotor nimmt variable Frequenzdrehzahlregelung an, um den Weichstart und den Weichstopp des Hauptmotors zu realisieren.

4.Die Zylinderdruckmethode wird angenommen, und die geschlossene Regelregelung des Drucks wird durch die Steuerung des elektrischen Proportionalventils realisiert, das extrem hohe Druckanwendungsgenauigkeit und Stabilität gewährleistet.

5.Das Vakuumfutter wird von einem Servomotor angetrieben, um die Gleichmäßigkeit des Polierens an jeder Station unter der Voraussetzung sicherzustellen, dass die Polierrate des Produkts sichergestellt wird.

6.Both die Polierplatte und die obere Druckplatte sind mit Kühlwasserkühlfunktion ausgestattet. Es gewährleistet die maximale Effizienz der Polierflüssigkeit und reduziert die Verformung der Polierscheibenoberfläche.

7.Die Ausrüstung ist mit einem Lap-Plattenkorrekturgerät ausgestattet, und der Ebenheitsbereich der Plattenoberfläche nach der Korrektur ist 0.005-0.008mm.

Technische Hauptparameter:

Modell

TY-7104XA

TY-8104XA

TY-9104XA

Spezifikation der Platte

700x250x12mm

810x255x12mm

910x250x12mm

Keramikplattendurchmesser

240~260mm

305mm

360mm

Hauptmotorleistung

5,5KW/380V

7,5KW/380V

7,5KW/380V

Leistung des Druckplattenmotors

0,4KW/380Vx4

0,4KW/380Vx4

0,4KW/380Vx4

Motorleistung der Korrekturvorrichtung

0,2KW/380V

0,2KW/380V

0,2KW/380V

Hauptdrehzahl des Motors

10-100rpm(max)

5-90rpm(max)

5-90rpm(max)

Arbeitsplatz

4个

4个

4个

Schleifplattenmodus ändern

Automatische Korrektur

Automatische Korrektur

Automatische Korrektur

Gesamtabmessungen

1050x1950x2300mm

1200x2200x2500mm

1200x1800x2300mm

Gewicht

2100KG

2350KG

2500KG

Untersuchung
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Ansprechpartner: Grace
Telefon: 86 13622378685
Email: Grace@lapping-machine.com
Adresse:Gebäude 34, Zone B, Yuanshan Industriezone, Xiangcheng Straße, Guangming Bezirk, Shenzhen, China

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Shenzhen Tengyu Grinding Technology Co., Ltd.