Was können die Poliermaschinen tun?
Es wird verwendet für:
• 3,4,6,8-Zoll Siliziumwafer
• Saphirsubstrat/Wafer
• Wolframkarbidteile
• Keramische Teile
• Ventile
• Kristallglas
• Siliziumcarbid Wafer
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1. Dies ist eine einseitige Präzisionspolieranlage. Es nimmt fortschrittliche mechanische Struktur und Kontrollmethode an und hat hohe Poliereffizienz und stabilen Betrieb.
2.Die ganze Maschine nimmt SPS-Touchscreen-Steuersystem an, Ausrüstungsparameter können hier eingestellt werden, die einfach zu bedienen ist.
3. Der Hauptmotor nimmt variable Frequenzdrehzahlregelung an, um den Weichstart und den Weichstopp des Hauptmotors zu realisieren.
4.Die Zylinderdruckmethode wird angenommen, und die geschlossene Regelregelung des Drucks wird durch die Steuerung des elektrischen Proportionalventils realisiert, das extrem hohe Druckanwendungsgenauigkeit und Stabilität gewährleistet.
5.Das Vakuumfutter wird von einem Servomotor angetrieben, um die Gleichmäßigkeit des Polierens an jeder Station unter der Voraussetzung sicherzustellen, dass die Polierrate des Produkts sichergestellt wird.
6. Sowohl die Polierplatte als auch die obere Druckplatte sind mit Kühlwasserkühlfunktion ausgestattet.
7.Es stellt die maximale Effizienz der Polierflüssigkeit sicher und reduziert die Verformung der Polierscheibenoberfläche.
Technische Daten:
Modell |
TY-7104PA |
TY-8104PA |
TY-9104PA |
Durchmesser der Lappen |
Φ700mm |
810mm |
910mm |
Blockgröße |
Φ260mm |
Φ 305mm |
Φ360mm |
Passende Wafergröße |
3,4,6,8inch |
4,6,8,12inch |
6,8,12inch |
Plattenkühlung |
Kühlwassermantel |
Kühlwassermantel |
Kühlwassermantel |
P. Platte |
4-Achsen. |
4-Achsen. |
4-Achsen. |
Angewandter Druck |
Per Zylinder |
Per Zylinder |
Per Zylinder |
Druckbereich |
30~150kg |
30~150kg |
30~150kg |
Plattendrehzahl |
5~80rpm |
5~80rpm |
5~80rpm |
Leistung des Hauptmotors |
4KW /AC380V, 3Phase, 60Hz |
7.5KW//AC380V, 3Phase, 60Hz |
7.5KW//AC380V, 3Phase, 60Hz |
Pneumatisch |
0.5~0.8 Mpa |
0.5~0.8 Mpa |
0.6~0.8 Mpa |
Gesamtabmessungen |
1200*1700*2300mm |
≈1150x1050x2200mm |
≈1250x1150x2200mm |
Gewicht |
2500kg |
2800KG |
2350KG |
Controller |
Touchscreen (Proface) |
Touchscreen (Proface) |
Touchscreen (Proface) |
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