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CMP Poliermaschine

Was können die Poliermaschinen tun?

Es wird verwendet für:

• 3,4,6,8-Zoll Siliziumwafer

• Saphirsubstrat/Wafer

• Wolframkarbidteile

• Keramische Teile

• Ventile

• Kristallglas

• Siliziumcarbid Wafer

Produktdetails
Was sind die Vorteile der Maschine?

1. Dies ist eine einseitige Präzisionspolieranlage. Es nimmt fortschrittliche mechanische Struktur und Kontrollmethode an und hat hohe Poliereffizienz und stabilen Betrieb.

2.Die ganze Maschine nimmt SPS-Touchscreen-Steuersystem an, Ausrüstungsparameter können hier eingestellt werden, die einfach zu bedienen ist.

3. Der Hauptmotor nimmt variable Frequenzdrehzahlregelung an, um den Weichstart und den Weichstopp des Hauptmotors zu realisieren.

4.Die Zylinderdruckmethode wird angenommen, und die geschlossene Regelregelung des Drucks wird durch die Steuerung des elektrischen Proportionalventils realisiert, das extrem hohe Druckanwendungsgenauigkeit und Stabilität gewährleistet.

5.Das Vakuumfutter wird von einem Servomotor angetrieben, um die Gleichmäßigkeit des Polierens an jeder Station unter der Voraussetzung sicherzustellen, dass die Polierrate des Produkts sichergestellt wird.

6. Sowohl die Polierplatte als auch die obere Druckplatte sind mit Kühlwasserkühlfunktion ausgestattet.

7.Es stellt die maximale Effizienz der Polierflüssigkeit sicher und reduziert die Verformung der Polierscheibenoberfläche.

Technische Daten:

Modell

TY-7104PA

TY-8104PA

TY-9104PA

Durchmesser der Lappen

Φ700mm

810mm

910mm

Blockgröße

Φ260mm

Φ 305mm

Φ360mm

Passende Wafergröße

3,4,6,8inch

4,6,8,12inch

6,8,12inch

Plattenkühlung

Kühlwassermantel

Kühlwassermantel

Kühlwassermantel

P. Platte

4-Achsen.
(Antriebssystem)
individuell)

4-Achsen.
(Antriebssystem)
individuell)

4-Achsen.
(Antriebssystem)
individuell)

Angewandter Druck

Per Zylinder

Per Zylinder

Per Zylinder

Druckbereich

30~150kg

30~150kg

30~150kg

Plattendrehzahl

5~80rpm

5~80rpm

5~80rpm

Leistung des Hauptmotors

4KW /AC380V, 3Phase, 60Hz

7.5KW//AC380V, 3Phase, 60Hz

7.5KW//AC380V, 3Phase, 60Hz

Pneumatisch

0.5~0.8 Mpa

0.5~0.8 Mpa

0.6~0.8 Mpa

Gesamtabmessungen

1200*1700*2300mm

≈1150x1050x2200mm

≈1250x1150x2200mm

Gewicht

2500kg

2800KG

2350KG

Controller

Touchscreen (Proface)

Touchscreen (Proface)

Touchscreen (Proface)

Untersuchung
Kontaktieren Sie uns
Ansprechpartner: Grace
Telefon: 86 13622378685
Email: Grace@lapping-machine.com
Adresse:Gebäude 34, Zone B, Yuanshan Industriezone, Xiangcheng Straße, Guangming Bezirk, Shenzhen, China

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Shenzhen Tengyu Grinding Technology Co., Ltd.