Geeignet für die Massenproduktion von AR-Beschichtung.
EIGENSCHAFTEN:
1.Excellent Gleichförmigkeit durch das zentrale Antriebssubstratrotationssystem.
2. Verkürzte Taktzeit der Beschichtung, die durch höhere Leistung beim Pumpen und Heizen erreicht wird.
Monitor 3.Optical, DC-Ionenquelle und Widerstandsheizer-Verdampfungsquelle können optional installiert werden.
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Spezifikationen von Gener-1315
| Kammergröße |
SUS304, φ1300 mm × 1500 mm (H) |
| Substrat Dome |
Vierteiliger Kuppel (oder φ1200 mm) |
| Max. Kuppeldrehzahl |
30 U/min (variable) |
| Kristallfilmdickenmessgerät |
XTC/3 plus 6-Punkt-Drehsensor |
| Verdampfungsquelle |
Eine Einheit von EB-Quelle |
| Leistung |
|
| Enddruck |
7,0 × 10-5 Pa oder weniger |
| Pumpengeschwindigkeit |
10 min (vom Luftdruck auf 3,0 × 10-3 Pa) |
| Max. Substratheizung Temp. |
350 °C |
| Utility Anforderungen |
|
| Fußabdruck |
4500 mm (W) × 6000 mm (D) × 3200 mm (H) |
| Stromversorgung |
3-Phasen, 200 V, 50/60 Hz, 80 kVA, ca. |
| Minimal Wasserfluss |
100 /min |
| Luftdruck |
0,5 - 0,7 MPa |
| Gewicht |
6500kg, ca. |
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