Optischer Dünnfilm-Sputtercoater
NSC-15 ist ein Lastversperrungstyp Metall-Modus-Sputtersystem mit hoher Leistung und Produktivität. Es eignet sich für die Ablagerung verschiedener Filter wie AR-Schmutzbeschichtung für mobile Geräte und Automobilpaneele, Dekorationsbeschichtung für 5G-kompatible Smartphones und BPF und LWPF für Sensoren.
EIGENSCHAFTEN:
1. 4 Arten von Zielmaterialien maximal
2. Ersatz der Kathode durch andere Komponenten
3. Doppelte rotierende zylindrische Kathode für stabile Entladung
4. Hohe reaktive Plasmaquelle für niedrigen Absorptionsfilm
5. Niedrige Partikeldichte Film durch opimizing Ablagerung und Übertragungssysteme
+8613622378685
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Spezifikationen von NSC-0508
| Vakuumkammer |
LL Raum: SUS304, W500 mm × D800 mm × H2890 mm |
| Substrathalter |
Auswahlbar 13 - 22 Stück Halter |
| Rotierendes Substrattrommelsystem |
φ1500 mm, Trommeltyp, 10 U/min - 100 U/min (variable) |
| Reaktionsquelle |
ICP (induktiv gekoppeltes Plasma) |
| Sputterquelle |
Duale Rotationskathode (Planer-Typ als Option) |
| Evakuierungssystem |
Rauhpumpe, Turbomolekularpumpe |
| Leistung |
|
| Enddruck |
LL Kammer: 10 Pa |
| Pump Down Rate |
LL-Kammer: ≤20 min (von atmosphärischer bis 1,0 × 10-1 Pa) |
| Einstellung des Substrats |
150 ℃ als Option |
| Utility Anforderungen |
|
| Fußabdruck |
5800 mm (W) × 7700 mm (D) × 3200 mm (H) |
| Stromversorgung |
3-Phasen N G, 380V ± 10%, 130kVA, 50/60Hz |
| Kühlwasserdurchsatz |
233 Q /min oder höher |
| Druckluftdruck |
0,5 MPa - 0,7 MPa |
| Bruttogewicht |
16000 kg ca. |
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