Optischer Dünnfilm-Sputtercoater
NSC-2350 ist ein Metallmodus-Sputter für optische Dünnschichten und insbesondere ein optimales System für großflächige Substrate.
Der AR AS flms für Platten von mobilen Endgeräten, Automobilen, etc.
EIGENSCHAFTEN:
1. Große Beschichtungsfläche: H1100 mm × W450 mm bei max
2. 6 Kathoden maximal
3. Ersatz der Kathode durch optionale Komponente
4. Hohe reaktive Plasmaquelle für niedrigen Absorptionsfilm
5. Load-Lock-Typ-Substrat-Halter-Transfersystem
6. Niedriger Partikelfilm durch opimizing Ablagerung und Übertragungssysteme
7. AR/AS Beschichtung durch einen Prozess
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Spezifikationen von NSC-0718
| Vakuumkammer |
LL Raum: SUS304, W700 × H1860 × D1760 mm |
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PR-Raum: SUS304, φ2350 × H1950 mm |
| Substrathalter |
Auswahlbar 15 - 22 Stück |
| Rotierendes Substrattrommelsystem |
φ2245 mm, Trommeltyp, 10 U/min - 50 U/min (einstellbar) |
| Reaktionsquelle |
ICP (induktiv gekoppeltes Plasma) |
| Sputterquelle |
Doppelrotierende Kathode (Planer-Typ als Option) |
| Evakuierungssystem |
Rohpumpe, Turbomolekularpumpe, Meissner Kühler |
| Leistung |
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| Enddruck |
LL Raum: 10 Pa |
| Pump Down Rate |
LL Raum: 8 min (von atmosphärischer bis 10 Pa) |
| Utility Anforderungen |
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| Fußabdruck |
7000 mm (W) × 6600 mm (D) × 4000 mm (H) |
| Stromversorgung |
3-Phasen N G, 380V ± 5%, 300kVA, 50/60Hz |
| Min. Wasserdurchflussrate |
400 Q / min oder höher (Druck: 0,6 - 0,7 Mpa) |
| Druckluftdruck |
0,5 MPa - 0,7 MPa |
| Bruttogewicht |
30000 kg ca. |
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