Optischer Dünnfilmbeschichter-Shenzhen Tengyu Grinding Technology Co., Ltd.

Produktdetails

Beispiele für Spezialbeschichtungen

Spezifikationen der OTFC-Serie

Modell	OTFC-9013CBI/DBI	OTFC-1115CBI/DBI
Vakuumkammer	SUS304, φ900mm × 1300mm (H)	SUS304, φ1100mm × 1520mm (H)
Größe der Substratkuppel	φ790mm	φ950mm
Drehgeschwindigkeit der Substratkuppel	10-min bis 30-min (variabel)	10-min bis 50-min (variabel)
Optisches Filmdickenkontrollsystem	HOM2-R-VIS350A Hochpräziser optischer Monitor Wellenlängenbereich: 350nm bis 1100nm Reflexion/Transmittanz	HOM2-R-VIS350A Hochpräziser optischer Monitor Wellenlängenbereich: 350nm bis 1100nm Reflexion/Transmittanz
Kristallfilmdickenmessgerät	XTC/3 plus 6-Punkt-Drehsensor	XTC/3 plus 6-Punkt-Drehsensor
Verdampfungsquelle	EB Quelle: 2 Einheiten	EB Quelle: 2 Einheiten
Ionenquelle	10cm RF Ionenquelle	17cm RF Ionenquelle
Vakuumsystem	Schruppen Pumpe, Diffusionspumpe Meissner Kühler oder Cryo Pumpe Cryo Trap *Option: Turbomolekularpumpe wählbar	Schruppen Pumpe, Diffusionspumpe Meissner Kühler oder Cryo Pumpen Cryo Trap *Option: Turbomolekularpumpe wählbar
Leistung
Enddruck	7.0 × 10-5Pa oder niedriger	7.0 × 10-5Pa oder niedriger
Pump Down Rate	15 min (Geldautomat bis 1.3 × 10-3Pa)	15 min (Geldautomat bis 1.3 × 10-3Pa)
Substratheizung	350℃ (max.)	350℃ (max.)
Nutzwert
Fußabdruck	4500mm (W) × 5500mm (D) × 3200mm (H) ca.	5000mm (W) × 6000mm (D) × 3300mm (H) ca.
Stromversorgung	3-phasig, 200V, 50/60Hz, 80kVA ca.	3-phasig, 200V, 50/60Hz, 100kVA ca.
Kühlwasserdurchsatz	80 Q /min oder größer	120 Q /min oder größer
Druckluftdruck	0,5MPa oder größer	0,5MPa oder größer
Bruttogewicht	5400kg ca.	7200kg ca.

OTFC-1316CBI/DBI	OTFC-1518CBI/DBI	OTFC-1819CBI/DBI
SUS304, φ1300mm × 1610mm (H)	SUS304, φ1550mm × 1800mm (H)	SUS304, φ1800mm × 1920mm (H)
φ1130mm	φ1400mm	φ1600mm
10-min bis 50-min (variabel)	10-min bis 30-min (variabel)	10-min bis 30-min (variabel)
HOM2-R-VIS350A Hochpräziser optischer Monitor Wellenlängenbereich: 350nm bis 1100nm Reflexion/Transmittanz	HOM2-R-VIS350A Hochpräziser optischer Monitor Wellenlängenbereich: 350nm bis 1100nm Reflexion/Transmittanz	HOM2-R-VIS350A Hochpräziser optischer Monitor Wellenlängenbereich: 350nm bis 1100nm Reflexion/Transmittanz
XTC/3 plus 6-Punkt-Drehsensor	XTC/3 plus 6-Punkt-Drehsensor	XTC/3 plus 6-Punkt-Drehsensor
EB Quelle: 2 Einheiten	EB Quelle: 2 Einheiten	EB Quelle: 2 Einheiten
17 cm HF-Ionenquelle	17 cm HF-Ionenquelle	23 cm HF-Ionenquelle
Schrupppumpe, Diffusionspumpe Meissner Kühler	Schrupppumpe, Diffusionspumpe Meissner Kühler	Schrupppumpe, Diffusionspumpe Meissner Kühler
Oder Cryo Pumps Cryo Trap	Oder Cryo Pumps Cryo Trap	Oder Cryo Pumps Cryo Trap
*Option: Turbomolekularpumpe wählbar	*Option: Turbomolekularpumpe wählbar	*Option: Turbomolekularpumpe wählbar
7.0 × 10-5Pa oder niedriger	7.0 × 10-5Pa oder niedriger	7.0 × 10-5Pa oder niedriger
15 Minuten (Geldautomat bis 1.3 × 10-3Pa)	15 Minuten (Geldautomat bis 1.3 × 10-3Pa)	20 min (Geldautomat bis 1.3 × 10-3Pa)
350℃ (max.)	350℃ (max.)	350℃ (max.)
5000mm (W) × 6500mm (D) × 3500mm (H) ca.	5500mm (W) × 7200mm (D) × 3700mm (H) ca.	5700mm (W) × 7700mm (D) × 4000mm (H) ca.
3-phasig, 200V, 50/60Hz, 100kVA ca.	3-phasig, 200V, 50/60Hz, 120kVA ca.	3-phasig, 200V, 50/60Hz, 150kVA ca.
140 Q /min. oder größer	180 Q /min oder größer	180 Q /min oder größer
0,5MPa oder höher	0,5MPa oder größer	0,5MPa oder größer
8500kg ca.	10000kg ca.	11200kg ca.

Spezifikationen können ohne vorherige Ankündigung geändert werden.

Kundenspezifische optische Dünnfilmbeschichtung

Optischer Dünnschichtbeschichter mit planetarer Kuppel

Diese optische Dünnschichtbeschichtung ist mit einer Planetenkuppel ausgestattet und die Ionenquelle eignet sich für die Beschichtung eines Reflektors und Linsen mit hoher Krümmung.

Merkmale

1. Planetary Dome verbessert die Beschichtungsgleichmäßigkeit über Substrat.

2. Kuppelwinkel kann entsprechend der Linsenkrümmung geneigt werden.

System 3. IAD verbessert die Filmqualität erheblich.

4. Spektrumeigenschaften der hohen Präzision am sphärischen Substrat können mit hoher Genauigkeit durch optischen Monitor erhalten werden.

5. Große Kammer (1800 mm im Durchmesser) mit Planetenkuppel erhöht die Produktivität.

Optischer Dünnschichtbeschichter für die Beschichtung von Kunststoffsubstraten

Dieser optische Dünnschichtbeschichter ist neu für die Beschichtung auf Kunststoffsubstrat entworfen. Unsere einzigartige Technologie ermöglicht die Herstellung von Beschichtungen auf verschiedenen Kunststoffsubstraten wie PMMA, Polycarbonat, Zeonex, etc.

Merkmale

1. Optimales Design für Beschichtung auf Kunststoffsubstraten

2. Optische Filme der hohen Qualität, die auf Kunststoffen durch spezielle Beschichtungsverfahren hergestellt werden.

3. Besteht strenge Umwelttests.

4. Automatische Beschichtungsprozesse erreicht durch ACS-Programm.

Optischer Dünnschicht Coater für IR Filter

Diese optische Dünnschichtbeschichtung ist neu für die Infrarot-Filterbeschichtung konzipiert. Die optische Dicke wird im Wellenlängenbereich von 1700 bis 5500nm überwacht und kontrolliert.

Merkmale

1. Optischer Filmdickenmonitor: Wellenlängenbereich 1700.5500nm; Wellenlängenauflösung bis 3.50nm (einstellbar)

2. Optische Schichtdickenüberwachung; Lichtintensitätsstabilität ≤ ± 0.05% im IR-Bereich.

3. Besonders optimiert für die Abscheidung von hochwertigen Infrarotfiltern mit hoher optischer Leistung bei hoher Reproduzierbarkeit

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