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Máquina de pulido CMP

¿Qué pueden hacer las máquinas de pulido?

Se utiliza para:

• Placa de silicio de 3,4,6,8 pulgadas

• Sustrato/oblea de zafiro

• Piezas de carburo de tungsteno

• Piezas de cerámica

• Válvulas

• vidrio de cristal

• Placa de carburo de silicio

Detalles del producto
¿¿ cuáles son las ventajas de esta máquina?

1. este es un equipo de pulido de precisión de un solo lado. Con una estructura mecánica avanzada y métodos de control, la eficiencia del pulido es alta y el funcionamiento es estable.

2. toda la máquina adopta el sistema de control de pantalla táctil plc, donde se pueden configurar los parámetros del equipo y la operación es conveniente.

3. el motor principal adopta la velocidad de conversión de frecuencia para lograr el arranque suave y el parada suave del motor principal.

4. se adopta el método de presurización del cilindro para lograr un control de circuito cerrado de la presión a través del control de la válvula proporcional eléctrica, lo que garantiza una precisión y estabilidad extremadamente altas de la aplicación de presión.

5. la ventosa de vacío es impulsada por un servomotor para garantizar la uniformidad del pulido de cada estación de trabajo bajo la premisa de garantizar la velocidad de pulido del producto.

6. tanto la placa pulida como la placa superior de presión tienen la función de enfriamiento por agua de refrigeración.

7. garantizar la máxima eficiencia del líquido de pulido y reducir la deformación de la superficie del disco pulido.

Especificaciones técnicas:

Modelo

Ty - 7104pa

Ty - 8104pa

Ty - 9104pa

Diámetro de la placa superpuesta

Φ700mm

810 mm

910 mm

Tamaño del bloque

Φ260 mm

0 305 mm

Phi 360 mm

Tamaño adecuado de la obleas

3,4,6,8 pulgadas

4,6,8,12 pulgadas

6,8,12 pulgadas

Enfriamiento de la placa

Chaqueta de agua de refrigeración

Chaqueta de agua de refrigeración

Chaqueta de agua de refrigeración

P. placas

4 ejes.
(sistema de fuerza motriz
Solo)

4 ejes.
(sistema de fuerza motriz
Solo)

4 ejes.
(sistema de fuerza motriz
Solo)

Ejercer presión

Por cilindro

Por cilindro

Por cilindro

Rango de presión

30 a 150 kg

30 a 150 kg

30 a 150 kg

Velocidad de la placa

5 a 80 RPM

5 a 80 RPM

5 a 80 RPM

Potencia del motor principal

4kw / ac380v, tres fases, 60Hz

7,5kw / ac380v, 3 fases, 60Hz

7,5kw / ac380v, 3 fases, 60Hz

Neumática

0,5 a 0,8 MPA

0,5 a 0,8 MPA

0,6 a 0,8 MPA

Tamaño exterior

1200 * 1700 * 2300mm

◆ 1150x150x2200 mm

◆ 1250x1150 x2200 mm

Peso

2.500 kilos

2.800 kilos

2350kg

Controlador

Pantalla táctil (profece)

Pantalla táctil (profece)

Pantalla táctil (profece)

Consulta
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Contacto: Grace
Teléfono: 86 13622378685
Correo electrónico: Grace@lapping-machine.com
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