recubrimiento pulverizador película delgada óptica
NSC-15 es un sistema de pulverización de metal tipo bloqueo de carga con alto rendimiento y productividad. Es adecuado para la deposición de varios filtros como el recubrimiento antimanchas AR para dispositivos móviles y paneles automotrices, el recubrimiento decorativo para teléfonos inteligentes compatibles con 5G y BPF y LWPF para sensores.
Características:
1. 4 tipos de materiales objetivo al máximo
2. Reemplazo del cátodo por otro componente
3. Cátodo cilíndrico rotativo doble para descarga estable
4. Fuente de plasma reactiva alta para película de baja absorción
5. Película de baja densidad de partículas mediante la optimización de los sistemas de deposición y transferencia
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Especificaciones NSC - 0508
| Cámara de vacío |
Sala ll: sus304, w500 mm × D800 mm × h2890 mm |
| Soporte del sustrato |
Se pueden seleccionar 13 - 22 soportes |
| Sistema de rodillos de sustrato giratorio |
Phi 1500mm, tipo tambor, 10 RPM - 100 RPM (variable) |
| Fuente de reacción |
Plasma acoplado inductivamente |
| Fuente de pulverización |
Cátodo de doble rotación (opcional para el tipo de planeador) |
| Sistema de evacuación |
Bomba de bombeo grueso, bomba molecular de turbina |
| Espectáculo |
|
| Presión extrema |
Sala ll: 10 pa |
| Velocidad de bombeo |
Cámara ll: ≤ 20 minutos (de la presión atmosférica a 1,0 × 10 - 1pa) |
| Establecer el sustrato |
Opcional a 150 ° C |
| Requisitos de los servicios públicos |
|
| Huellas |
5800 mm (ancho) × 7700 mm (profundidad) × 3200 mm (alto) |
| Fuente de alimentación |
Corriente alterna de tres fases, 380v ± 10%, 130 kva, 50 / 60 Hz |
| Caudal de agua de refrigeración |
233 Q / min o más |
| Presión de aire comprimido |
0,5 MPA - 0,7 MPa |
| Peso bruto |
Unos 16.000 kilos. |
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