recubrimiento pulverizador película delgada óptica
NSC-2350 es un pulverizador de modo metálico para película delgada óptica y, especialmente, un sistema óptimo para sustratos de gran área.
El AR AS flms para paneles de dispositivos terminales móviles, automóviles, etc.
Características:
1. Área de recubrimiento grande: H1100 mm × W450 mm al máximo
2. 6 catódodos como máximo
3. Reemplazo del cátodo con componente opcional
4. Fuente de plasma reactiva alta para película de baja absorción
5. Sistema de transferencia del soporte del sustrato del tipo de bloqueo de carga
6. Película de partículas bajas mediante sistemas de deposición y transferencia opimizing
7. AR/AS recubrimiento por un solo proceso
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Especificaciones de NSC-0718
| Cámara de vacío |
Sala LL: SUS304, W700 × H1860 × D1760 mm |
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Sala PR: SUS304, φ2350 × H1950 mm |
| Sostenidor de sustrato |
Selectable 15 - 22 piezas |
| Sistema de tambor de sustrato rotativo |
φ2245 mm, Tipo de tambor, 10 rpm - 50 rpm (sintonizable) |
| Fuente de reacción |
ICP (plasma acoplado inductivamente) |
| Fuente de pulverización |
Cátodo rotativo doble (tipo Planer como opción) |
| Sistema de evacuación |
Bomba de rugosidad, bomba molecular turbo, enfriador Meissner |
| Rendimiento |
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| Presión Última |
Habitación LL: 10 Pa |
| Tasa de bomba abajo |
Sala LL: 8 min (desde atmosférico a 10 Pa) |
| Requisitos de utilidad |
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| Huella |
7000 mm (W) × 6600 mm (D) × 4000 mm (H) |
| Fuente de alimentación |
3-fase N G, 380V ± 5%, 300kVA, 50/60Hz |
| Velocidad mínima de flujo de agua |
400 Q / min o mayor (Presión: 0,6 - 0,7 Mpa) |
| Presión de aire comprimido |
0,5 MPa - 0,7 MPa |
| Peso Bruto |
30000 kg aprox. |
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