Serie OTFC
(Para filtros de borde, filtros de paso de banda, recubrimientos AR, etc.)
La serie OTFC, basada en la tecnología asistida por iones, es el sistema de recubrimiento más adecuado para la producción de recubrimientos AR y ópticos.
filtros tales como filtros de borde, filtros de paso de banda, etc.
CARACTERÍSTICAS
1. Tamaño de la cámara: φ600mm- φ1800mm
2. monitor de espesor óptico de 60 puntos.
3. fuente de iones RF que logra una distribución uniforme y mayor del haz iónico sobre un área más grande a alta densidad de corriente iónica.
4. Más de 100 capas se pueden depositar por 2 cañones EB y fuego de crisol de múltiples puntos o fuego anular.
5. Sistema de control de deposición automática para el proceso totalmente automatizado.
6. La cúpula del sustrato central o planetario es seleccionable.
7. Bombas de difusión más bombas Polycold o Cryo.
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Ejemplo de recubrimiento especial
Especificaciones de la serie otfc
| Modelo |
Otfc - 9013cbi / dbi |
Otfc - 1115cbi / dbi |
| Cámara de vacío |
Sus304, Phi 900mm X 1300mm (h) |
Sus304, Phi 1100mm X 1520mm (h) |
| Tamaño de la cúpula del sustrato |
Phi 790 mm |
Phi 950 mm |
| Velocidad de rotación de la cúpula del sustrato |
10 / MIN a 30 / MIN (variable) |
10 RPM a 50 RPM (variable) |
| Sistema de control del espesor de la película óptica |
Rango de longitud de onda del monitor óptico de alta precisión hom2 - R - vis350a: 350 nm a 1100 nm |
Rango de longitud de onda del monitor óptico de alta precisión hom2 - R - vis350a: 350 nm a 1100 nm |
| Monitor de espesor de película cristalina |
Sensor de rotación XTC / 3 más 6 puntos |
Sensor de rotación XTC / 3 más 6 puntos |
| Fuente de vapor |
Fuente eb: 2 unidades |
Fuente eb: 2 unidades |
| Fuente de iones |
Fuente de iones de radiofrecuencia de 10 cm |
Fuente de iones de radiofrecuencia de 17 cm |
| Sistema de vacío |
Bomba de bombeo grueso, bomba de difusión, refrigerador maisner o trampa criogénica de bomba criogénica |
Bomba de bombeo grueso, bomba de difusión, refrigerador maisner o bomba criogénica, trampa criogénica |
| Espectáculo |
|
|
| Presión extrema |
7,0 × 10 - 5pa o menos |
7,0 × 10 - 5pa o menos |
| Velocidad de bombeo |
15 minutos (presión atmosférica a 1,3 × 10 - 3pa) |
15 minutos (presión atmosférica a 1,3 × 10 - 3pa) |
| Calentador de sustrato |
350 ° c (máximo) |
350 ° c (máximo) |
| Práctico |
|
|
| Huellas |
Unos 4.500 mm (ancho) × 5.500 mm (profundo) × 3.200 mm (alto). |
Unos 5.000 mm (ancho) × 6.000 mm (profundidad) × 3.300 mm (alto). |
| Fuente de alimentación |
Tres fases, 200v, 50 / 60 hz, unos 80 kva. |
Tres fases, 200v, 50 / 60 hz, unos 100 kva. |
| Caudal de agua de refrigeración |
80 Q / min o más |
120 Q / min o más |
| Presión de aire comprimido |
0,5 MPa o más |
0,5 MPa o más |
| Peso bruto |
Unos 5.400 kilogramos. |
Unos 7.200 kilogramos. |
| Otfc - 1316cbi / dbi |
Otfc - 1518cbi / dbi |
Otfc - 1819 CBI / dbi |
| Sus304, Phi 1300mm X 1610mm (h) |
Sus304, diámetro 1550mm X 1800mm (altura) |
Sus304, Phi 1800mm X 1920mm (h) |
| Phi 1130mm |
Phi 1400 mm |
Phi 1600 mm |
| 10 RPM a 50 RPM (variable) |
10 / MIN a 30 / MIN (variable) |
10 / MIN a 30 / MIN (variable) |
| Rango de longitud de onda del monitor óptico de alta precisión hom2 - R - vis350a: 350 nm a 1100 nm |
Rango de longitud de onda del monitor óptico de alta precisión hom2 - R - vis350a: 350 nm a 1100 nm |
Rango de longitud de onda del monitor óptico de alta precisión hom2 - R - vis350a: 350 nm a 1100 nm |
| Sensor de rotación XTC / 3 más 6 puntos |
Sensor de rotación XTC / 3 más 6 puntos |
Sensor de rotación XTC / 3 más 6 puntos |
| Fuente eb: 2 unidades |
Fuente eb: 2 unidades |
Fuente eb: 2 unidades |
| Fuente de iones de radiofrecuencia de 17 cm |
Fuente de iones de radiofrecuencia de 17 cm |
Fuente de iones de radiofrecuencia de 23 cm |
| Bomba áspera, bomba de difusión enfriador de agua Meissner |
Bomba áspera, bomba de difusión enfriador de agua Meissner |
Bomba áspera, bomba de difusión enfriador de agua Meissner |
| O trampa de baja temperatura de bomba criogénica |
O trampa de baja temperatura de bomba criogénica |
O trampa de baja temperatura de bomba criogénica |
| Opción: turbobomba Molecular opcional |
Opción: turbobomba Molecular opcional |
Opción: turbobomba Molecular opcional |
| 7,0 × 10 - 5pa o menos |
7,0 × 10 - 5pa o menos |
7,0 × 10 - 5pa o menos |
| 15 minutos (presión atmosférica a 1,3 × 10 - 3pa) |
15 minutos (presión atmosférica a 1,3 × 10 - 3pa) |
20 minutos (presión atmosférica a 1,3 × 10 - 3pa) |
| 350 ° c (máximo) |
350 ° c (máximo) |
350 ° c (máximo) |
| Unos 5.000 mm (ancho) × 6.500 mm (profundo) × 3.500 mm (alto). |
Aproximadamente 5.500 mm (ancho) × 7.200 mm (profundidad) × 3.700 mm (alto). |
Aproximadamente 5.700 mm (ancho) × 7.700 mm (profundidad) × 4.000 mm (alto). |
| Tres fases, 200v, 50 / 60 hz, unos 100 kva. |
Tres fases, 200v, 50 / 60 hz, unos 120 kva. |
Tres fases, 200v, 50 / 60 hz, unos 150 kva. |
| 140 Q / min o más |
180 Q / min o más |
180 Q / min o más |
| 0,5 MPa o más |
0,5 MPa o más |
0,5 MPa o más |
| Unos 8.500 kg. |
Unos 10.000 kilogramos. |
Unos 11.200 kilogramos. |
Las especificaciones están sujetas a cambios sin previo aviso.
Máquina de recubrimiento de película óptica personalizada
Máquina de recubrimiento de película óptica de cúpula planetaria
Esta máquina de recubrimiento de película óptica está equipada con cúpulas planetarias y fuentes de iones, adecuadas para el recubrimiento de espejos y lentes de alta curvatura.
Características
1. la cúpula planetaria mejora la uniformidad del recubrimiento en el sustrato.
2. el ángulo de la cúpula se puede inclinar de acuerdo con la curvatura de la lente.
3. el sistema IAD mejora considerablemente la calidad de la película.
4. las características espectrales de alta precisión en el sustrato esférico se pueden obtener con alta precisión a través de monitores ópticos.
5. las cámaras de gran tamaño con cúpulas planetarias (1800 mm de diámetro) aumentan la productividad.
Recubrimiento de película óptica para recubrimiento de sustratos plásticos
Esta máquina de recubrimiento de película óptica está diseñada recientemente para el recubrimiento en sustratos plásticos. Nuestra tecnología única permite recubrimientos en una variedad de sustratos plásticos, como pmma, policarbonato, zeonex, etc.
Características
1. diseño optimizado del recubrimiento del sustrato plástico
2. películas ópticas de alta calidad producidas en plásticos a través de procesos especiales de recubrimiento.
3. pasar estrictas pruebas ambientales.
4. el programa ACS realiza el proceso de pintura automática.
Máquina de recubrimiento de película óptica de filtro infrarrojo
Esta máquina de recubrimiento de película óptica está diseñada recientemente para el recubrimiento de filtros infrarrojos. El espesor óptico se monitorea y controla en el rango de longitud de onda de 1700 - 5500 nm.
Características
1. Monitor de espesor de película óptica: rango de longitud de onda = 1700 - 5500 nm; Resolución de longitud de onda = 3 - 50 nm (ajustable)
2. Monitor de espesor de película óptica; Estabilidad de la intensidad luminosa en el rango infrarrojo ≤ 0,05%.
3. se ha optimizado especialmente la deposición de filtros infrarrojos de alta calidad con alto rendimiento óptico y alta reproducibilidad.
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