Questa macchina è un rivestimento ottico a pellicola sottile su larga scala per rivestimenti anti-macchia (AS), anti-riflessione (AR) e AS AR.
Caratteristiche:
Uniformità 1.Excellent dal sistema di rotazione del substrato dell'azionamento centrale.
2.RF fonte ionica per migliorare la resistenza all'abrasione (soggetto a più di quarantamila test di abrasione*)
3.Mass produzione per rivestimento AS.
* I cicli di abrasione possono essere variati in base allo standard di prova di resistenza all'usura.
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Specifiche di Gener-2314
Dimensione della camera |
φ2350 mm × H1400 mm |
Cupola del substrato |
φ2200 mm, a cinque sezioni |
Velocità massima di rotazione della cupola |
20 giri/min |
Monitor dello spessore della pellicola di cristallo |
Monitor a 6 punti Crystal flim |
Fonte di evaporazione |
Un'unità di sorgente EB, sorgente AS mobile |
Fonte ionica |
Sorgente ionica RF |
Prestazioni |
|
Pressione finale |
7,0E-5 Pa o inferiore |
Velocità di pompaggio |
15 min (dalla pressione atmosferica a 2,0 × 10-3 Pa) |
Requisiti di utilità |
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Impronta |
6300 (W) × 9000 (P) × 4000 mm (H) |
Alimentazione elettrica |
3 fasi, 200 V, 50/60 Hz, 80 kVA, ca. |
Flusso idrico minimo |
220 Q/min |
Pressione dell'aria |
0,5 - 0,7 MPa |
Peso |
12000kg, ca. |
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