Film sottile ottico sputtering Coater
NSC-2350 è uno sputter in modalità metallica per film sottili ottici e, in particolare, un sistema ottimale per substrati di grande area.
L'AR AS flms per pannelli di dispositivi terminali mobili, automobili, ecc.
Caratteristiche:
1. Grande area di rivestimento: H1100 mm × W450 mm al massimo
2. 6 Catodi al massimo
3. Sostituzione del catodo con componente facoltativo
4. Alta fonte di plasma reattiva per film a basso assorbimento
5. sistema di trasferimento del titolare del substrato del tipo di blocco di carico
6. Film di particelle basse opimizzando sistemi di deposito e trasferimento
7. rivestimento AR/AS da un processo
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Specifiche di NSC-0718
| Camera di vuoto |
Camera LL: SUS304, W700 × H1860 × D1760 mm |
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Sala PR: SUS304, φ2350 × H1950 mm |
| Sostrato Holder |
Selezionabile 15 - 22 pezzi |
| Sistema di tamburo a substrato rotativo |
φ2245 mm, tipo tamburo, 10 giri al minuto - 50 giri al minuto (sintonizzabile) |
| Fonte di reazione |
ICP (plasma accoppiato induttivamente) |
| Fonte di sputtering |
Catodo rotativo doppio (tipo Planer come opzione) |
| Sistema di evacuazione |
Pompa di coagulazione, pompa molecolare turbo, chiller Meissner |
| Prestazioni |
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| Pressione finale |
Sala LL: 10 Pa |
| Tasso di riduzione della pompa |
Sala LL: 8 min (da atmosferica a 10 Pa) |
| Requisiti di utilità |
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| Impronta |
7000 mm (L) × 6600 mm (D) × 4000 mm (H) |
| Alimentazione elettrica |
3-fase N G, 380V ± 5%, 300kVA, 50/60Hz |
| Min. Tasso di flusso dell'acqua |
400 Q / min o superiore (pressione: 0,6 - 0,7 Mpa) |
| Pressione dell'aria compressa |
0,5 MPa - 0,7 MPa |
| Peso lordo |
30000 kg circa. |
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