rivestimento film sottile ottico-Tecnologia di macinazione di Shenzhen Tengyu Co., Ltd.

Dettagli del prodotto

Esempi di rivestimenti speciali

Specifiche della serie OTFC

Modello	OTFC-9013CBI/DBI	OTFC-1115CBI/DBI
Camera di vuoto	SUS304, φ900mm × 1300mm (H)	SUS304, φ1100mm × 1520mm (H)
Dimensione della cupola del substrato	φ790mm	φ950mm
Velocità di rotazione della cupola del substrato	Da 10 giri/min a 30 giri/min (variabile)	Da 10 giri/min a 50 giri/min (variabile)
Sistema di controllo dello spessore della pellicola ottica	HOM2-R-VIS350A Monitor ottico ad alta precisione Gamma di lunghezza d'onda: 350nm a 1100nm Riflessione/Trasmissione	HOM2-R-VIS350A Monitor ottico ad alta precisione Gamma di lunghezza d'onda: 350nm a 1100nm Riflessione/Trasmissione
Monitor dello spessore della pellicola di cristallo	XTC/3 plus sensore rotante a 6 punti	XTC/3 plus sensore rotante a 6 punti
Fonte di evaporazione	Fonte EB: 2 unità	Fonte EB: 2 unità
Fonte ionica	Sorgente ionica RF da 10 cm	Sorgente ionica RF da 17cm
Sistema di vuoto	Pompa di sgrossatura, refrigeratore Meissner della pompa di diffusione o Cryo Pump Cryo Trap * Opzione: Pompa turbomolecolare selezionabile	Pompa di sgrossatura, refrigeratore Meissner della pompa di diffusione o Cryo Pumps Cryo Trap * Opzione: Pompa turbomolecolare selezionabile
Prestazioni
Pressione finale	7,0 × 10-5Pa o inferiore	7,0 × 10-5Pa o inferiore
Tasso di riduzione della pompa	15 min (Atm. a 1,3 × 10-3Pa)	15 min (Atm. a 1,3 × 10-3Pa)
Riscaldatore di substrati	350℃ (max.)	350℃ (max.)
Utilità
Impronta	4500mm (W) × 5500mm (D) × 3200mm (H) circa.	5000mm (W) × 6000mm (D) × 3300mm (H) circa.
Alimentazione elettrica	3 fasi, 200V, 50/60Hz, 80kVA circa.	3-fase, 200V, 50/60Hz, 100kVA circa.
Portata dell'acqua di raffreddamento	80 Q/min o superiore	120 Q/min o superiore
Pressione dell'aria compressa	0,5MPa o superiore	0,5MPa o superiore
Peso lordo	5400 kg circa	7200 kg circa.

OTFC-1316CBI/DBI	OTFC-1518CBI/DBI	OTFC-1819CBI/DBI
SUS304, φ1300mm × 1610mm (H)	SUS304, φ1550mm × 1800mm (H)	SUS304, φ1800mm × 1920mm (H)
φ1130mm	φ1400mm	φ1600mm
Da 10 giri/min a 50 giri/min (variabile)	Da 10 giri/min a 30 giri/min (variabile)	Da 10 giri/min a 30 giri/min (variabile)
HOM2-R-VIS350A Monitor ottico ad alta precisione Gamma di lunghezza d'onda: 350nm a 1100nm Riflessione/Trasmissione	HOM2-R-VIS350A Monitor ottico ad alta precisione Gamma di lunghezza d'onda: 350nm a 1100nm Riflessione/Trasmissione	HOM2-R-VIS350A Monitor ottico ad alta precisione Gamma di lunghezza d'onda: 350nm a 1100nm Riflessione/Trasmissione
XTC/3 plus sensore rotante a 6 punti	XTC/3 plus sensore rotante a 6 punti	XTC/3 plus sensore rotante a 6 punti
Fonte EB: 2 unità	Fonte EB: 2 unità	Fonte EB: 2 unità
Sorgente ionica RF da 17 cm	Sorgente ionica RF da 17 cm	Sorgente ionica RF da 23 cm
Pompa di sgrossatura, pompa di diffusione Meissner refrigeratore	Pompa di sgrossatura, pompa di diffusione Meissner refrigeratore	Pompa di sgrossatura, pompa di diffusione Meissner refrigeratore
O Cryo Pumps Cryo Trap	O Cryo Pumps Cryo Trap	O Cryo Pumps Cryo Trap
* Opzione: Pompa turbomolecolare selezionabile	* Opzione: Pompa turbomolecolare selezionabile	* Opzione: Pompa turbomolecolare selezionabile
7,0 × 10-5Pa o inferiore	7,0 × 10-5Pa o inferiore	7,0 × 10-5Pa o inferiore
15 minuti (Atm. a 1,3 × 10-3Pa)	15 minuti (Atm. a 1,3 × 10-3Pa)	20 min (Atm. a 1,3 × 10-3Pa)
350℃ (max.)	350℃ (max.)	350℃ (max.)
5000mm (W) × 6500mm (D) × 3500mm (H) circa.	5500mm (W) × 7200mm (D) × 3700mm (H) circa.	5700 mm (W) × 7700 mm (D) × 4000mm (H) circa.
3-fase, 200V, 50/60Hz, 100kVA circa.	3-fase, 200V, 50/60Hz, 120kVA circa.	3-fase, 200V, 50/60Hz, 150kVA circa.
140 Q/min. o superiore	180 Q/min o superiore	180 Q/min o superiore
0,5MPa o superiore	0,5MPa o superiore	0,5MPa o superiore
8500 kg circa.	10000kg circa	11200 kg circa

Le specifiche possono essere soggette a modifiche senza preavviso.

Rivestitore ottico sottile personalizzato del film

Rivestimento ottico sottile del film con cupola planetaria

Questo rivestimento ottico a film sottile è dotato di una cupola planetaria e sorgente ionica è adatto per rivestire un riflettore e lenti con alta curvatura.

Caratteristiche

1. cupola planetaria migliora l'uniformità del rivestimento sopra il substrato.

2. L'angolo della cupola può essere inclinato in conformità con la curvatura della lente.

3. il sistema IAD migliora notevolmente la qualità del film.

4. La proprietà dello spettro di alta precisione al substrato sferico può essere ottenuta ad alta precisione dal monitor ottico.

5. Camera di grandi dimensioni (1800 mm di diametro) con cupola planetaria aumenta la produttività.

Rivestitore ottico a pellicola sottile per rivestimento su substrati plastici

Questo rivestimento ottico del film sottile è stato recentemente progettato per il rivestimento al substrato plastico. La nostra tecnologia unica permette di realizzare rivestimenti su vari substrati plastici come PMMA, Policarbonato, Zeonex, ecc

Caratteristiche

1. Progettazione ottimale per il rivestimento su substrati di plastica

2. film ottici di alta qualità prodotti su plastica da processi speciali di rivestimento.

3. Superato severi test ambientali.

4. processi di rivestimento automatici raggiunti dal programma ACS.

Pellicola sottile ottica per filtri IR

Questo rivestimento ottico del film sottile è stato recentemente progettato per il rivestimento del filtro infrarosso. Lo spessore ottico è monitorato e controllato nella gamma di lunghezze d'onda che copre 1700 - 5500nm.

Caratteristiche

1. monitor ottico di spessore del film: Gamma di lunghezza d'onda = 1700 - 5500nm; Risoluzione della lunghezza d'onda = 3 - 50nm (sintonizzabile)

2. monitor ottico dello spessore del film; Stabilità dell'intensità luminosa ≤ ± 0,05% nell'intervallo IR.

3. particolarmente ottimizzato per la deposizione di filtri infrarossi di alta qualità con alte prestazioni ottiche con alta riproducibilità

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