Scopo principale:
Questa attrezzatura è principalmente utilizzata per la macinazione di Si Ge, GaAs, InP, SiC, GaN, ZnO, LiTaO3, materiali semiconduttori come vetro al quarzo e diamante.
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Caratteristiche dell'attrezzatura:
1. Questa serie di attrezzature è una rettificatrice completamente automatica wafer progettata e prodotta in modo indipendente dalla nostra azienda. La tecnologia è matura, le prestazioni sono stabili e può sostituire completamente le marche importate.
2. I sistemi di elaborazione avanzati e le caratteristiche di progettazione contribuiscono a raggiungere elevati rendimenti e rendimenti.
3. Misura standard dello spessore online del contatto. Anche NCG senza contatto è facoltativo.
4. l'adozione di un'interfaccia utente grafica LCD touch screen rende il funzionamento e la manutenzione più intuitivi e semplici.
5. rompere attraverso il blocco della tecnologia centrale, il mandrino galleggiante dell'aria di pressione statica ad alta potenza auto-sviluppato e la piattaforma portante.
6. L'uso della base di marmo e del giradischi galleggianti dell'aria del marmo migliora notevolmente la stabilità generale dell'attrezzatura.
7. Può macinare vari wafer che vanno da 3 a 12 pollici.
Principali parametri tecnici:
Modello |
200A |
300A |
Dimensioni delle cialde |
4",6",8" |
8",12" |
Metodo di macinazione |
Macinazione in alimentazione con wafer Rotazione |
Macinazione in alimentazione con wafer Rotazione |
Ruota rettificatrice |
Ruota diamantata |
Ruota diamantata |
Potenza nominale |
7,5kw |
11KW |
Velocità nominale |
1000-7000 |
1000-4000 |
TTV |
≤2um |
≤3um |
Rugosità |
personalizzabile |
personalizzabile |
Precisione di misurazione dello spessore |
1um |
1um |
Dimensioni (LxPxA) |
2500x4500x1800mm |
2500x4500x1800mm |
peso |
≈4000kg |
≈5000kg |
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