CMP 광택기-심천 Tengyu 연磨 기술 Co., Ltd.

CMP 광택기

폴리싱 기계는 무엇을 할 수 있습니까?

그것은 사용됩니다 :

• 3,4,6,8 인치 실리콘 웨이퍼

• 사파이어 기판/웨이퍼

• 탄 • 카바이드 • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • •

• 세라픽 부품

• 벨브

• 크리스탈 유리

• 실리콘 카바이드 웨이퍼

제품 정보

이 기계는 어떤 장점이 있습니까?

1.이것은 단면 정밀 광택 설비입니다.선진적인 기계 구조와 제어 방법을 채택하여 광택 효율이 높고 운행이 안정적이다.

2.전체 기기는 PLC 터치스크린 제어 시스템을 사용하며, 장치 매개변수는 여기에서 설정할 수 있어 조작이 편리하다.

3.메인 모터는 주파수 변환 속도 조절을 사용하여 호스트의 소프트 부팅과 소프트 스톱을 실현합니다.

4. 실린더 증압 방식을 사용하여 전동 비례 밸브의 제어를 통해 압력의 폐쇄 고리 제어를 실현하여 매우 높은 압력 가해 정밀도와 안정성을 보장한다.

5.진공 흡판은 서보 모터에 의해 구동되며, 제품의 광택 속도를 보장하는 전제하에 각 작업 위치의 광택의 균일성을 보장한다.

6. 광택판과 상압판 모두 냉각수 냉각 기능이 있다.

7. 광택액의 최대 효율을 확보하고 광택 디스크 표면의 변형을 줄인다.

기술 사양: