질화알루미늄 양면 연삭기는 세라믹 기판의 저손상 정밀 가공 난점을 어떻게 극복하는가?
2026-07-17 · 뉴스
질화알루미늄 세라믹은 높은 열전도율, 우수한 절연성, 낮은 열팽창 계수를 갖춰 반도체 전력 소자, 5G RF 모듈, 신에너지 IGBT 모듈의 핵심 방열 기판 소재로 사용됩니다. 하지만 해당 소재는 경질 취성 특성이 충격 저항성이 낮아 기존 단면 연삭 공정은 응력 분포가 불균일하여 기판 휨, 모서리 깨짐, 표면 미세 균열, 두께 편차 초과 등 문제가 빈번히 발생합니다. 이는 고급 전자 기판의 마이크로 단위 평행도 및 무손상 가공 기준을 충족할 수 없으며,
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