OTFC 시리즈
(가장자리 필터, 밴드 패스 필터, AR 코팅 등)
이온 보조 기술을 기반으로 하는 OTFC 시리즈는 AR 코팅과 광학 코팅을 생산하는 데 가장 적합한 코팅 시스템입니다.
가장자리 필터, 대역 패스 필터 등과 같은 필터.
특징
1. 방 크기: φ600mm- φ1800mm
2. 60 점 광학 간격 모니터.
3. 높은 이온 전류 밀도에 더 큰 지역에 동일한, 더 큰 이온 광속 분포를 달성하는 RF 이온 소스.
4. 100개 이상의 층은 2개의 EB 총과 다점 가열기 난로나 원형 난로에 의해 예금될 수 있습니다.
5. 완전히 자동화된 과정을 위한 자동 입금 통제 시스템.
6. 중심 운전 또는 행성 기판 6 6 6. 6 6 6. 중심 운전 또는 행성 기판 6 6 6 6 선택할 수 있습니다.
7. Diffusion 펌프 플러스 Polycold 또는 Cryo 펌프.
+8613622378685
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특수 코팅 예
OTFC 시리즈 사양
| 모델 |
OTFC-9013CBI/DBI |
OTFC-1115CBI/DBI |
| 진공실 |
SUS304,900mm × 1300mm(높이) |
SUS304,1100mm × 1520mm(높이) |
| 기판 돔 크기 |
φ790mm |
φ950mm |
| 기판 돔 회전 속도 |
10 ~ 30 ~ 30 / 분 (가변) |
10회전 / 50회전 / 분할 (가변) |
| 광학 박막 두께 제어 시스템 |
HOM2-R-VIS350A 고정밀 광학 모니터 파장 범위: 350nm ~ 1100nm |
HOM2-R-VIS350A 고정밀 광학 모니터 파장 범위: 350nm ~ 1100nm |
| 결정막 두께 측정기 |
XTC/3 + 6점 회전 센서 |
XTC/3 + 6점 회전 센서 |
| 증발원 |
EB 출처: 2 단위 |
EB 출처: 2 단위 |
| 이온원 |
10cm 무선 주파수 이온원 |
17cm 무선 주파수 이온원 |
| 진공 시스템 |
펌프, 확산 펌프, 마이스너 냉동기 또는 저온 펌프 저온 함정 |
펌프, 확산 펌프, 마이스너 냉동기 또는 저온 펌프, 저온 함정 |
| 공연 |
|
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| 극한압력 |
7.0 × 10-5Pa 이하 |
7.0 × 10-5Pa 이하 |
| 펌프 전송 속도 |
15분(대기압 1.3 × 10-3Pa까지) |
15분(대기압 1.3 × 10-3Pa까지) |
| 기판 히터 |
350℃(최대) |
350℃(최대) |
| 실용 |
|
|
| 발자국 |
약 4500mm(가로)×5500mm(세로)×3200mm(높이). |
약 5000mm(가로)×6000mm(세로)×3300mm(높이). |
| 전원 공급 장치 |
삼상, 200V, 50/60Hz, 약 80kVA. |
삼상, 200V, 50/60Hz, 약 100kVA. |
| 냉각수 유량 |
80Q/min 이상 |
120Q/min 이상 |
| 압축 공기 압력 |
0.5MPa 이상 |
0.5MPa 이상 |
| 총중량 |
약 5400킬로그램. |
약 7200킬로그램. |
| OTFC-1316CBI/DBI |
OTFC-1518CBI/DBI |
OTFC-1819CBI/DBI |
| SUS304,1300mm × 1610mm(높이) |
SUS304, 지름 1550mm × 1800mm(높이) |
SUS304,1800mm × 1920mm(높이) |
| φ1130mm |
φ1400mm |
φ1600mm |
| 10회전 / 50회전 / 분할 (가변) |
10 ~ 30 ~ 30 / 분 (가변) |
10 ~ 30 ~ 30 / 분 (가변) |
| HOM2-R-VIS350A 고정밀 광학 모니터 파장 범위: 350nm ~ 1100nm |
HOM2-R-VIS350A 고정밀 광학 모니터 파장 범위: 350nm ~ 1100nm |
HOM2-R-VIS350A 고정밀 광학 모니터 파장 범위: 350nm ~ 1100nm |
| XTC/3 + 6점 회전 센서 |
XTC/3 + 6점 회전 센서 |
XTC/3 + 6점 회전 센서 |
| EB 출처: 2 단위 |
EB 출처: 2 단위 |
EB 출처: 2 단위 |
| 17cm 무선 주파수 이온원 |
17cm 무선 주파수 이온원 |
23cm 무선 주파수 이온원 |
| 거친 펌프, 확산 펌프 Meissner 냉수 유닛 |
거친 펌프, 확산 펌프 Meissner 냉수 유닛 |
거친 펌프, 확산 펌프 Meissner 냉수 유닛 |
| 또는 저온 펌프 저온 소수 밸브 |
또는 저온 펌프 저온 소수 밸브 |
또는 저온 펌프 저온 소수 밸브 |
| * 옵션: 터보 분자 펌프 옵션 |
* 옵션: 터보 분자 펌프 옵션 |
* 옵션: 터보 분자 펌프 옵션 |
| 7.0 × 10-5Pa 이하 |
7.0 × 10-5Pa 이하 |
7.0 × 10-5Pa 이하 |
| 15분(대기압 1.3 × 10-3Pa까지) |
15분(대기압 1.3 × 10-3Pa까지) |
20분(대기압 1.3 × 10-3Pa까지) |
| 350℃(최대) |
350℃(최대) |
350℃(최대) |
| 약 5000mm(가로)×6500mm(세로)×3500mm(높이). |
약 5500mm(가로)×7200mm(세로)×3700mm(높이). |
약 5700mm(가로)×7700mm(깊이)×4000mm(높이). |
| 삼상, 200V, 50/60Hz, 약 100kVA. |
삼상, 200V, 50/60Hz, 약 120kVA. |
삼상, 200V, 50/60Hz, 약 150kVA. |
| 140 Q/min 이상 |
180 Q/min 이상 |
180 Q/min 이상 |
| 0.5MPa 이상 |
0.5MPa 이상 |
0.5MPa 이상 |
| 약 8500kg. |
약 10000킬로그램. |
약 11200킬로그램입니다. |
사전 통지 없이 사양이 변경될 수 있습니다.
맞춤형 광학 박막 도금기
행성 돔 광학 박막 도금기
이 광학 박막 코팅기는 행성 돔과 이온 소스를 갖추고 있으며, 높은 곡률을 코팅하는 반사기와 렌즈에 적합하다.
피쳐
1. 행성돔은 기재의 코팅 균일성을 높였다.
2. 돔 각도는 렌즈 곡률에 따라 기울일 수 있습니다.
3. IAD 시스템은 필름의 품질을 크게 향상시켰다.
4. 광학 측정기를 통해 구형 기판의 고정밀 스펙트럼 특성을 고정밀도로 얻을 수 있다.
5.행성 돔이 있는 큰 크기의 챔버 (지름 1800mm) 는 생산성을 향상시킵니다.
플라스틱 기재 코팅에 사용되는 광학 박막 도포기
이런 광학 박막 도포기는 플라스틱 기재에 도포하기 위해 새로 설계된 것이다.PMMA, 폴리카보네이트, Zeonex 등 다양한 플라스틱 소재에 코팅을 제작할 수 있는 독보적인 기술
피쳐
1. 플라스틱 기재 코팅의 최적화 설계
2. 특수 코팅 공정을 통해 플라스틱에서 생산되는 고품질 광학 필름.
3. 엄격한 환경 테스트를 통과합니다.
4. ACS 프로그램은 자동 도장 공정을 실현한다.
적외선 필터 광학 필름 도금기
이 광학 박막 도포기는 적외선 필터를 도포하기 위해 새로 설계된 것이다.광학 두께는 1700-5500nm의 파장 범위 내에서 모니터링 및 제어됩니다.
피쳐
1.광학막 두께 측정기:파장범위=1700-5500nm;파장 해상도 = 3-50nm(조정 가능)
2.광학막 두께 측정기;적외선 범위 내의 빛 강도 안정성은 ≤±0.05%이다.
3. 특히 고광학적 성능과 재현성을 갖춘 고품질 적외선 필터의 퇴적에 최적화
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