광학 웨이퍼 수준 스퍼터 코터
OWLS-1800은 웨이퍼 레벨 광학 (WLO) 코팅을 위한 수평 금속 모드 스퍼터입니다.
이 시스템은 TOF 및 근접 센서에 사용되는 장치 웨이퍼에 대역패스 필터를 직접 코팅할 수 있습니다.
특징:
1. 12"까지 웨이퍼
2. 행성 웨이퍼 회전 시스템
3. 낮은 입자 코팅을 위해 설계된
4. 광학적 간격 감시자 (선택권)
5. EFEM 통합 및 SEMI 표준 준수 (선택)
+8613622378685
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OWLS-1800의 사양
| 진공 방 |
LL 방 TR 방 PR 방 |
| 기판 홀더 |
10 개의 PC (최대 12 인치) |
| 로터리 Substrarte 드럼 시스템 |
φ1800 mm의 터트테이블 유형, |
| 반응 소스 |
ICP(Inductively Coupled Plasma) |
| 스퍼팅 소스 |
이중 회전 가소드 (플라너 유형은 선택사항으로 사용할 수 있습니다) |
| 대피 시스템 |
거친 펌프, 터보 분자 펌프, Meissner 냉각기 |
| 성능 |
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| 궁극적인 압력 |
LL 방, TR 방: 10 Pa PR 방: ≤5.0 × 10-4 Pa |
| LL 방, TR 방：5 분 (대기에서 10 Pa) PR 방：40 분 (대기에서 5.0 × 10-3 Pa) |
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| 유틸리티 요구 사항 |
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| 발자국 |
6500 mm (W) × 6000 mm (D) × 3000 mm (H) |
| 전력 공급 |
3단계 N G, 380V ± 5%, 150 kVA, 50/60 Hz |
| Min. 물 유량 |
215 Q /min 이상 |
| 공기 압력 |
0.5 - 0.7 MPa |
| 무게 |
약 13500 kg |
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