피쳐:
외형과 하중 구조는 우리의 최신 주철 프레임, 대리석 플랫폼과 지지 구조를 사용하고, 사륜 주축의 지지는 사형 주조를 사용한다.이 구조는 기존 용접물보다 강도가 높고 정밀도가 높습니다.현재 국외의 고정밀 설비는 이미 이런 설계를 채용하였다.
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장치 이름 |
더블 스핀들 웨이퍼 연마기 |
주요 용도 |
주로 탄화규소, 실리콘 조각, 사파이어 등 웨이퍼를 연마하는 데 쓰인다 |
프로세스 설명 |
이 설비 는 조마 와 세마 의 일체화 를 실현할 수 있다 |
구현 계획 |
1. 제품의 아래쪽 주 축에 있는 위치는 굵은 연마와 가는 연마 사이를 전환할 수 있다. 2. 설비의 가공 정밀도가 높고 설비의 운행이 안정적이다. 3. 비접촉식 측정 기구를 사용하여 제품의 두께를 측정한다. |
혁신:
기존 그라인더에 비해 반동 방지 실린더 세트를 추가하여 스크루와 레일의 간격을 없앴습니다.
연마 과정에서 대량의 물안개 배출을 줄이기 위해 사륜 방수 덮개와 2층 방수 덮개를 늘렸다.
피쳐:
이 설비는 거친 연마와 가는 연마를 동시에 실현할 수 있다.
정밀 연마 나사 레일 모듈과 진공 흡판 주축을 사용하여 굵은 연마와 정밀 연마 위치 사이를 왔다갔다한다.비접촉식 온라인 두께 측정기 기능도 갖추고 있다.
TY-2002GD 듀얼 스핀들 웨이퍼 그라인더
기술 매개 변수:
진공 흡판 크기: 200mm
진공 흡판 수량: 1개
흡판 회전 속도: 0-300rpm/min
흡판 모터 출력: 2KW
사륜 모터 출력: 12KW
사륜 크기: 10인치
연마 방법: 굵게 빻기
모래바퀴 회전 속도: 0-3000rpm/min
래스터 제어 정밀도: 해상도 0.001mm
두께 온라인 측정 정밀도: 0.001mm
두께 온라인 측정 범위: 1-1000um
두께 온라인 측정 해상도: ≤0.1um
모래바퀴 반복 위치 정밀도: 1um
모래바퀴 최소 설정 스텝: 0.1um/s
전압: 3상 380V
기계 크기: 1700*1300*2170mm(길이*너비*두께)
시스템 무게: 2500kg
구조:
이 기계는 주로 받침대, 침대 몸체, 진공 흡판, 흡판 주축, 모래바퀴 주축, 모래바퀴 공급 기구, 온라인 측정 시스템, 제어 시스템 등으로 구성된다.
1.기계 받침대는 잉크 주철로 정밀하게 주조하고, 동체는 고강성 대리석을 사용하며, 정밀도는 여러 해 동안 유지할 수 있다.
2.설비는 두 개의 모래바퀴 주축을 사용하여 거친 연마와 가는 연마를 동시에 실현할 수 있다.
3. 10인치 금강석 사륜 2개를 사용하여 사륜의 입도는 제품의 요구에 따라 선택할 수 있다.
4. 흡판 주축은 정밀 나사 레일과 서보 모터를 통해 좌우로 이동하여 굵은 연마와 정밀 연마를 실현한다.
5. 진공 흡판은 제품의 요구에 따라 맞춤형으로 제작할 수 있다
6.사륜 공급 기구는 THK 정밀 나사, 레일, 미쓰비시 서보 모터로 사륜 주축을 구동하여 정밀 연마를 실현한다.
7.본 기계는 비접촉식 온라인 측정 기기를 사용하는데, 목적은 적시에 제품의 두께를 측정하는 것이다.
8. 제어 시스템은 미쓰비시 PLC, 서보 모터, 터치스크린 등을 사용한다.
장치 워크플로우
1. 이 설비는 20개의 서로 다른 제품의 가공 데이터를 저장할 수 있으며 사용 시 직접 호출할 수 있다.새 제품은 매개변수를 재설정하고 저장해야 합니다.
2. 가공 절차: 수동으로 제품을 설계의 진공 흡판에 넣고 제품의 최종 두께, 굵은 두께, 가는 두께, 굵은 연마 효율/초, 가는 효율/초, 굵은 연마 주축 토크, 가는 연마 주축 토크를 설정한다.위의 데이터를 설정한 후 버튼을 시작하면 장치가 작동합니다. 장치가 작동하는 동안 제품의 두께를 자동으로 측정하여 정확한 연마를 수행합니다.첫째, 거칠게 갈다.황삭 연마가 완료되면 흡판 주축은 자동으로 세공으로 변환됩니다.모든 워크플로우 절차가 완료되었음을 나타내는 장치 자동 경고 완료