사용:

웨이퍼 연마기는 제품을 빠르게 얇게 하여 제품의 표면 품질을 향상시키고 평면도와 평행도를 증가시키며 두께를 효과적으로 제어하여 더 높은 두께 공차를 실현할 수 있다.

장치 구성:

진공흡판, 기체정압주축, 구동기구, 모래바퀴, 공급기구, 전페환제어시스템 등.

제어 방법:

1. 본 기기는 국제 유명 브랜드의 선진적인 PLC와 터치스크린을 채용하여 자동화 정도가 높고 휴먼 컴퓨터 인터페이스를 실현하여 조작이 간단명료하다.

2. 기압 검측 센서, 기압이 설비의 정상적인 가공 설정의 최소 압력보다 낮을 때, 설비는 경보를 하여 부품이 단단히 흡수되는 것을 방지한다.

3. 모래바퀴 토크 제어, 토크가 설비가 설정한 정상적인 가공에서 발생하는 토크보다 높을 때, 설비는 경보를 하여 설비가 이상하거나 오작동할 때 기계 부품이 도구에 의해 손상되는 것을 방지한다.

4. 사륜전류감측, 랭사륜이 설비가 설정한 정상적인 가공에서 산생된 최대전류보다 높을 때 사륜이 반등하면 반등거리를 조절하여 사륜이 공작물을 압출하여 손상을 초래하는것을 방지할수 있다.

5. 모래바퀴 마모의 자동 보상은 제품을 연마할 때 모래바퀴의 소모가 공작물의 가공 정밀도에 영향을 주는 것을 방지한다.

추가 옵션 항목:

1. 자동 모래바퀴 온라인 정비

2. 온라인 두께 측정 시스템

(참고: 위의 두 항목을 설치해야 하는 경우 장비를 구입하기 전에 제출하십시오.)

이점

4/6인치 실리콘 웨이퍼의 두께는 끊어지지 않고 80um 두께로 줄일 수 있다.

기술 매개 변수: