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  • 자동 웨이퍼 그라인더
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자동 웨이퍼 그라인더

주요 목적:

이 장비는 주로 Si Ge、GaAs、InP、SiC、GaN、ZnO、LiTaO3、석영 유리 및 다이아몬드와 같은 반도체 재료를 연磨하는 데 사용됩니다.

제품 정보

장치 특징:

1.본 시리즈 설비는 우리 회사가 자체적으로 설계 제조한 전자동 실리콘 칩 연마기입니다.기술이 성숙되고 성능이 안정되어 수입 브랜드를 완전히 대체할 수 있다.

2.선진적인 가공 시스템과 디자인 특징은 높은 생산률과 양률을 실현하는 데 도움이 된다.

3. 표준 접촉식 온라인 두께 측정.비접촉 NCG도 옵션입니다.

4. LCD 터치스크린 그래픽 사용자 인터페이스를 사용하여 조작과 유지보수를 더욱 직관적이고 간단하게 합니다.

5.핵심 기술 봉쇄를 돌파하고 고출력 정압 가스 부상 주축과 하중 플랫폼을 자체 개발한다.

6. 대리석 받침대와 대리석 공기 부양판의 사용은 설비의 전체적인 안정성을 크게 향상시켰다.

7. 3~12인치의 다양한 웨이퍼를 연마할 수 있다.

주요 기술 매개 변수:

모델

200A

300A

웨이퍼 크기

4",6",8"

8",12"

연마 방법

웨이퍼 회전이 있는 재료 연마

웨이퍼 회전이 있는 재료 연마

모래바퀴

금강석 사륜

금강석 사륜

정격 전력

7.5kW

11KW

정격 회전 속도

1000-7000

1000-4000

수혈로 바이러스를 전파하다.

≤2um

≤3um

조잡도

사용자 정의 가능

사용자 정의 가능

두께 측정 정밀도

1um

1um

크기(가로x세로x두께)

2500x4500x1800mm

2500x4500x1800mm

무게

약 4000킬로그램

약 5000킬로그램

제품 비디오
문의하기
연락처
연락처: Grace
전화 번호: 86 13622378685
이메일 :Grace@lapping-machine.com
주소:건물 34의 지역 B의 Yuanshan 산업 지역, Xiangcheng 도로, Guangming 지구, 심천, 중국

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심천 Tengyu 연磨 기술 Co., Ltd.