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  • NSC-0718은
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NSC-0718은

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NSC-2350는 광학적 NSC-2350는 NS광광학적 NS광광학적 NSNSC-2350는 NSNSNSC-2350는 광학적 NSNSNSC-2350는 NSNSC-2350는 광학적 NSNSNSC-2350는 광학적 NS필름

모바일 터미널 장치, 자동차 등의 패널을 위한 AR AS flms.

특징:

1. 큰 코팅 지역: 최대 H1100 mm × W450 mm

2. 최대 6개의 阴극

3. 선택적인 성분을 가진 감극의 교체

4. 낮은 흡수 필름을 위한 높은 반응성 플라즈마 원천

5. 부하 잠금 유형 기판 홀더 tranfer 체계

6. 저입자 필름 정착 및 전송 시스템을 opimizing

7. 1개의 과정에 의해 AR/AS 코팅

제품 정보

NSC-0718의 사양

진공 방

LL 방: SUS304, W700 × H1860 × D1760 mm
UL 방: W700 × H1860 × D1760 mm
TR 방: W660 × H1860 × D1760 mm

 

PR 방: SUS304, φ2350 × H1950 mm

기판 홀더

선택할 수 있는 15 - 22 PC

로터리 기판 드럼 시스템

φ2245 mm, 드럼 유형, 10 rpm - 50 rpm (조정 가능)

반응 소스

ICP(Inductively Coupled Plasma)

스퍼팅 소스

이중 로타리 카소드 (선택사항으로 플라너 유형)

대피 시스템

거친 펌프, 터보 분자 펌프, Meissner 냉각기

성능

 

궁극적인 압력

LL 방: 10 Pa
PR 방: ≤2.0 × 10-4 Pa

LL 방: 8 분 (대기에서 10 Pa)
PR 방: 40 분 (대기에서 9.0 × 10-4 Pa)

유틸리티 요구 사항

 

발자국

7000 mm (W) × 6600 mm (D) × 4000 mm (H)

전력 공급

3단계 N G, 380V ± 5%, 300kVA, 50/60Hz

Min. 물 유량

400 Q /min 이상 (압력: 0.6 - 0.7 Mpa)

압축공기 압력

0.5 MPa - 0.7 MPa

총 무게

약 30000 kg.


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연락처: Grace
전화 번호: 86 13622378685
이메일 :Grace@lapping-machine.com
주소:건물 34의 지역 B의 Yuanshan 산업 지역, Xiangcheng 도로, Guangming 지구, 심천, 중국

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심천 Tengyu 연磨 기술 Co., Ltd.