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NSC-2350는 광학적 NSC-2350는 NS광광학적 NS광광학적 NSNSC-2350는 NSNSNSC-2350는 광학적 NSNSNSC-2350는 NSNSC-2350는 광학적 NSNSNSC-2350는 광학적 NS필름
모바일 터미널 장치, 자동차 등의 패널을 위한 AR AS flms.
특징:
1. 큰 코팅 지역: 최대 H1100 mm × W450 mm
2. 최대 6개의 阴극
3. 선택적인 성분을 가진 감극의 교체
4. 낮은 흡수 필름을 위한 높은 반응성 플라즈마 원천
5. 부하 잠금 유형 기판 홀더 tranfer 체계
6. 저입자 필름 정착 및 전송 시스템을 opimizing
7. 1개의 과정에 의해 AR/AS 코팅
+8613622378685
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NSC-0718의 사양
진공 방 |
LL 방: SUS304, W700 × H1860 × D1760 mm |
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PR 방: SUS304, φ2350 × H1950 mm |
기판 홀더 |
선택할 수 있는 15 - 22 PC |
로터리 기판 드럼 시스템 |
φ2245 mm, 드럼 유형, 10 rpm - 50 rpm (조정 가능) |
반응 소스 |
ICP(Inductively Coupled Plasma) |
스퍼팅 소스 |
이중 로타리 카소드 (선택사항으로 플라너 유형) |
대피 시스템 |
거친 펌프, 터보 분자 펌프, Meissner 냉각기 |
성능 |
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궁극적인 압력 |
LL 방: 10 Pa |
LL 방: 8 분 (대기에서 10 Pa) |
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유틸리티 요구 사항 |
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발자국 |
7000 mm (W) × 6600 mm (D) × 4000 mm (H) |
전력 공급 |
3단계 N G, 380V ± 5%, 300kVA, 50/60Hz |
Min. 물 유량 |
400 Q /min 이상 (압력: 0.6 - 0.7 Mpa) |
압축공기 압력 |
0.5 MPa - 0.7 MPa |
총 무게 |
약 30000 kg. |