Продукты
  • CMP лапинг машина
  • CMP лапинг машина
  • CMP лапинг машина
  • CMP лапинг машина
  • CMP лапинг машина
  • CMP лапинг машина
  • CMP лапинг машина
  • CMP лапинг машина
  • CMP лапинг машина
  • CMP лапинг машина
  • CMP лапинг машина
  • CMP лапинг машина
  • CMP лапинг машина
  • CMP лапинг машина
CMP лапинг машина

Сфера применения:

Это оборудование в основном используется для одностороннего точного шлифования сапфирной подложки, сапфирной эпитаксиальной пластинки, Si, керамической пластинки, кварцевого кристалла, SiC, Ge и других полупроводниковых материалов.

Подробности о продукте
Особенности оборудования:

1. Это односторонняя прецизионная мельница. Использование передовых механических структур и методов управления, высокая эффективность полировки, стабильная работа.

2.Вся машина использует систему управления сенсорным экраном PLC, параметры устройства могут быть установлены здесь, удобная работа.

3. Основной двигатель использует частотную модуляцию для достижения мягкого запуска и мягкой остановки хоста.

4. Используя метод наддува цилиндра, управление электрическим пропорциональным клапаном обеспечивает замкнутое управление давлением, обеспечивая высокую точность и стабильность давления.

5.Вакуумный присос управляется сервомотором, в предпосылке обеспечения скорости полировки продукта, чтобы обеспечить однородность полировки каждого положения.

6. Полировальные и верхние пластины имеют функцию охлаждения охлаждающей воды. Это обеспечивает максимальную эффективность полировочной жидкости и уменьшает деформацию поверхности диска.

7. Оборудование оснащено коррекционным устройством накладки, диапазон выравнивания задней пластины коррекции составляет 0005 - 0008 мм.

Основные технические параметры:

Модель

TY - 7104XA

TY - 8104XA

TY - 9104XA

Спецификация листов

700x250x12 мм

810x255x12 мм

910x250x12 мм

Диаметр керамической плиты

240 - 260 мм

305 мм

360 мм

мощность главного двигателя

5,5 кВт / 380 В

7.5 кВт / 380 В

7.5 кВт / 380 В

мощность прессового двигателя

0,4 кВт / 380 Vx4

0,4 кВт / 380 Vx4

0,4 кВт / 380 Vx4

мощность двигателя корректирующего устройства

0,2 кВт / 380 В

0,2 кВт / 380 В

0,2 кВт / 380 В

скорость вращения главного двигателя

10 - 100rpm (максимум)

5 - 90rpm (максимум)

5 - 90rpm (максимум)

Рабочая станция

Четыре.

Четыре.

Четыре.

Изменить режим шлифовального диска

Автокоррекция

Автокоррекция

Автокоррекция

Размер

1050x1950x2300мм

1200x2200x2500 мм

1200x1800x2300мм

Вес

2100 кг

2350 кг

2500 кг

Расследования
Свяжитесь с нами
Контактное лицо: Grace
Телефон: 86 13622378685
Электронная почта: Grace@lapping-machine.com
Адрес:Здание 34, зона В, промышленная зона Юаншань, дорога Сяньчень, район Гуаньмин, Шэньчжэнь, Китай

Сканирование микроканалов

Шэньчжэнь Tengyu Grinding Technology Co., Ltd.