Генер-1315-Шэньчжэньская компания по измельчению и технологии Tengyu.

Генер-1315

Вакуумное испарение покрытие

Подходит для массового производства AR покрытия.

Особенности:

1.Excellent единообразность системой вращения подложки центра привода.

2. Сократенное время такта покрытия, достигнутое более высокой производительностью в насосе и нагревании.

3.Оптический монитор, источник ионов постоянного тока и источник испарения нагревателя сопротивления могут быть установлены по желанию.

Подробности о продукте

Спецификации Gener-1315

Размер камеры	SUS304, φ1300 мм × 1500 мм (В)
Субстратный купол	Четырехсекционный купол (или φ1200 мм)
Макс. скорость вращения купола	30 об/мин (переменная)
Монитор толщины кристаллической пленки	XTC/3 плюс 6-точечный вращающийся датчик
Источник испарения	Одна единица источника EB
Производительность
Конечное давление	7,0 × 10-5 Па или ниже
Скорость насоса	10 мин (от атмосферного давления до 3,0 × 10-3 Па)
Макс. Температура отопления субстрата.	350°С
Коммунальные требования
След	4500 мм (Ш) × 6000 мм (Г) × 3200 мм (В)
Питание	3-фазный, 200 В, 50/60 Гц, 80 кВА, приблизительно
Минимальный поток воды	100 /мин
Давление воздуха	0,5 - 0,7 МПа
Вес	6500кг, приблизительно.