Эта машина представляет собой крупногабаритную оптическую тонкопленочную окраску для противообрастающих (AS), отражающих (AR) и AS - AR покрытий.
Характеристики:
Система вращения центральной приводной пластины обладает отличной однородностью.
Источники ионов RF повышенной износостойкости (после более чем 40 000 испытаний на износ *)
3.AS Массовое производство покрытия.
* Период износа может меняться в соответствии со стандартами испытаний на износостойкость.
+8613622378685
В WeChat
В YouTube
Спецификации Gener-2314
Размер камеры |
φ2350 мм × H1400 мм |
Субстратный купол |
φ2200 мм, Пять секций |
Макс. скорость вращения купола |
20 об/мин |
Монитор толщины кристаллической пленки |
6-точечный кристаллический монитор |
Источник испарения |
Одна единица источника EB, движимый источник AS |
Ионный источник |
Источник ионов РФ |
Производительность |
|
Конечное давление |
7.0E-5 Па или ниже |
Скорость насоса |
15 мин (от атмосферного давления до 2,0 × 10-3 Па) |
Коммунальные требования |
|
След |
6300 (Ш) × 9000 (Г) × 4000 мм (В) |
Питание |
3-фазный, 200 В, 50/60 Гц, 80 кВА, приблизительно |
Минимальный поток воды |
220 К / мин |
Давление воздуха |
0,5 - 0,7 МПа |
Вес |
12000кг, приблизительно. |
Сканирование микроканалов