Продукты
  • Ген-2314
  • Ген-2314
Ген-2314
вакуумно - испарительная машина

Эта машина представляет собой крупногабаритную оптическую тонкопленочную окраску для противообрастающих (AS), отражающих (AR) и AS - AR покрытий.

Характеристики:

Система вращения центральной приводной пластины обладает отличной однородностью.

Источники ионов RF повышенной износостойкости (после более чем 40 000 испытаний на износ *)

3.AS Массовое производство покрытия.

* Период износа может меняться в соответствии со стандартами испытаний на износостойкость.

Подробности о продукте

Спецификации Gener-2314

Размер камеры

φ2350 мм × H1400 мм

Субстратный купол

φ2200 мм, Пять секций

Макс. скорость вращения купола

20 об/мин

Монитор толщины кристаллической пленки

6-точечный кристаллический монитор

Источник испарения

Одна единица источника EB, движимый источник AS

Ионный источник

Источник ионов РФ

Производительность

 

Конечное давление

7.0E-5 Па или ниже

Скорость насоса

15 мин (от атмосферного давления до 2,0 × 10-3 Па)

Коммунальные требования

 

След

6300 (Ш) × 9000 (Г) × 4000 мм (В)

Питание

3-фазный, 200 В, 50/60 Гц, 80 кВА, приблизительно

Минимальный поток воды

220 К / мин

Давление воздуха

0,5 - 0,7 МПа

Вес

12000кг, приблизительно.



xq3.jpg
Расследования
Свяжитесь с нами
Контактное лицо: Grace
Телефон: 86 13622378685
Электронная почта: Grace@lapping-machine.com
Адрес:Здание 34, зона В, промышленная зона Юаншань, дорога Сяньчень, район Гуаньмин, Шэньчжэнь, Китай

Сканирование микроканалов

Шэньчжэнь Tengyu Grinding Technology Co., Ltd.