Оптический тонкий пленочный покрытель
NSC-15 - это металлическая система распыления типа блокировки нагрузки с высокой производительностью и производительностью. Он подходит для отложения различных фильтров, таких как антиплязное покрытие AR для мобильных устройств и автомобильных панелей, декоративное покрытие для смартфонов, совместимых с 5G, и BPF и LWPF для датчиков.
Особенности:
1. 4 вида целевых материалов максимально
2. Замена катода другим компонентом
3. Двойный ротационный цилиндрический катод для стабильного разряда
4. Высокий реактивный источник плазмы для пленки с низким поглощением
5. Пленка с низкой плотностью частиц путем оптимизации систем отложения и передачи
+8613622378685
В WeChat
В YouTube
Технические характеристики NSC - 0508
Вакуумная камера |
Камера LL: SUS304, W500 мм × D800 мм × H2890 мм |
Кронштейн фундамента |
Можно выбрать 13 - 22 опоры. |
барабанная система с вращающейся базой |
Фи1500 мм, барабанный, 10 оборотов - 100 оборотов (переменный) |
Источник реакции |
плазма с индуктивной связью |
Источник распыления |
Двойной вращающийся катод (необязательный тип строгального станка) |
Система эвакуации |
насос грубого насоса, турбомолекулярный насос |
Спектакль |
|
Предельное давление |
Комната LL: 10 Па |
Скорость подачи насоса |
Камера LL: 20 минут (от атмосферного давления до 1,0×10 - Па) |
Настройка базовой платы |
150°C Выбрать |
Требования к коммунальным услугам |
|
Следы. |
5800 мм (ширина) × 7700 мм (глубина) × 3200 мм (высота) |
Электричество |
Трехфазный переменный ток, 380V ±10%, 130 кВА, 50 / 60 Гц |
Поток охлаждающей воды |
233 Q / мин или выше |
Давление сжатого воздуха |
0,5 МПа - 0,7 МПа |
Вес брутто |
Около 16 000 кг. |
Сканирование микроканалов