серии OTFC
(Для краевых фильтров, фильтров пропускной полосы, AR покрытий и т. д.)
Серия OTFC, основанная на ионной технологии, является наиболее подходящей системой покрытия для производства AR покрытий и оптических
фильтры, такие как краевые фильтры, фильтры пропуска полосы и т.д.
Особенности
1. Размер камеры: φ600mm- φ1800mm
2. 60-точечный оптический монитор толщины.
3. Источник ионов РФ, достигающий единообразного, большего распределения ионного пучка на большей площади при высокой плотности ионного тока.
4. Более 100 слоев могут быть отложены 2 пушками EB и многоточным огнем тигеля или кольцевым огнем.
5. Система управления автоматическим отложением для полностью автоматизированного процесса.
6. Купол подложки центра или планеты выбираемый.
7. Диффузионные насосы плюс Polycold или Cryo- насосы.
+8613622378685
В WeChat
В WeChat
В YouTube
Примеры специальных покрытий
Серия OTFC
| Модель |
OTFC - 9013CBI / DBI |
OTFC - 1115CBI / DBI |
| Вакуумная камера |
SUS304, фи 900 мм × 1300 мм (высота) |
SUS304, фи 1100mm × 1520mm (высота) |
| Размер купола фундамента |
Фи 790 мм |
Фи 950мм |
| Скорость вращения купола фундамента |
От 10 до 30 оборотов / мин (переменные) |
От 10 до 50 оборотов / мин (переменные) |
| оптическая система управления толщиной пленки |
HOM2 - R - VIS350A Диапазон длин волн высокоточного оптического монитора: от 350 нм до 1100 нм |
HOM2 - R - VIS350A Диапазон длин волн высокоточного оптического монитора: от 350 нм до 1100 нм |
| Монитор толщины кристаллической пленки |
XTC / 3 + 6 - точечный вращающийся датчик |
XTC / 3 + 6 - точечный вращающийся датчик |
| Источник испарения |
Источник EB: 2 единицы |
Источник EB: 2 единицы |
| Источник ионов |
Радиочастотный ионный источник 10cm |
Радиочастотный ионный источник 17cm |
| Вакуумная система |
Резервный насос, диффузионный насос, холодильная установка & lt; & lt; Мейснера & gt; & gt; или криогенный насос |
Насосы грубого насоса, диффузионные насосы, холодильные установки & quot; Мейснера & quot; или криогенные насосы, криогенные ловушки |
| Спектакль |
|
|
| Предельное давление |
7.0×10 - 5Па или ниже |
7.0×10 - 5Па или ниже |
| Скорость подачи насоса |
15 минут (атмосферное давление до 1.3×10 - 3Па) |
15 минут (атмосферное давление до 1.3×10 - 3Па) |
| подогреватель фундамента |
350°C (максимум) |
350°C (максимум) |
| Практическое применение |
|
|
| Следы. |
Приблизительно 4500 мм (ширина) × 5500 мм (глубина) × 3200 мм (высота). |
Приблизительно 5000 мм (ширина) × 6000 мм (глубина) × 3300 мм (высота). |
| Электричество |
Три фазы, 200 В, 50 / 60 Гц, около 80 кВА. |
Три фазы, 200 В, 50 / 60 Гц, около 100 кВА. |
| Поток охлаждающей воды |
80 Q / мин или выше |
120 Q / мин или выше |
| Давление сжатого воздуха |
0.5 МПа или больше |
0.5 МПа или больше |
| Вес брутто |
Около 5400 кг. |
Около 7200 кг. |
| OTFC - 1316CBI / DBI |
OTFC - 1518CBI / DBI |
OTFC - 1819CBI / DBI |
| SUS304, фи 1300mm × 1610 мм (высота) |
SUS304, диаметр 1550 мм × 1800 мм (высота) |
SUS304, фи 1800mm × 1920mm (высота) |
| Фи 1130 мм |
Фи 1400 мм |
Фи 1600мм |
| От 10 до 50 оборотов / мин (переменные) |
От 10 до 30 оборотов / мин (переменные) |
От 10 до 30 оборотов / мин (переменные) |
| HOM2 - R - VIS350A Диапазон длин волн высокоточного оптического монитора: от 350 нм до 1100 нм |
HOM2 - R - VIS350A Диапазон длин волн высокоточного оптического монитора: от 350 нм до 1100 нм |
HOM2 - R - VIS350A Диапазон длин волн высокоточного оптического монитора: от 350 нм до 1100 нм |
| XTC / 3 + 6 - точечный вращающийся датчик |
XTC / 3 + 6 - точечный вращающийся датчик |
XTC / 3 + 6 - точечный вращающийся датчик |
| Источник EB: 2 единицы |
Источник EB: 2 единицы |
Источник EB: 2 единицы |
| Радиочастотный ионный источник 17cm |
Радиочастотный ионный источник 17cm |
Радиочастотный ионный источник 23cm |
| Грубый насос, диффузионный насос, охлаждающий агрегат Meissner |
Грубый насос, диффузионный насос, охлаждающий агрегат Meissner |
Грубый насос, диффузионный насос, охлаждающий агрегат Meissner |
| Криогенный дренажный клапан |
Криогенный дренажный клапан |
Криогенный дренажный клапан |
| * Параметры: турбомолекулярный насос необязательно |
* Параметры: турбомолекулярный насос необязательно |
* Параметры: турбомолекулярный насос необязательно |
| 7.0×10 - 5Па или ниже |
7.0×10 - 5Па или ниже |
7.0×10 - 5Па или ниже |
| 15 минут (атмосферное давление до 1.3×10 - 3Па) |
15 минут (атмосферное давление до 1.3×10 - 3Па) |
20 минут (атмосферное давление до 1.3×10 - 3Па) |
| 350°C (максимум) |
350°C (максимум) |
350°C (максимум) |
| Приблизительно 5000 мм (ширина) × 6500 мм (глубина) × 3500 мм (высота). |
Приблизительно 5500 мм (ширина) × 7200 мм (глубина) × 3700 мм (высота). |
Приблизительно 5700 мм (ширина) × 7700 мм (глубина) × 4000 мм (высота). |
| Три фазы, 200 В, 50 / 60 Гц, около 100 кВА. |
Три фазы, 200 В, 50 / 60 Гц, около 120 кВА. |
Три фазы, 200 В, 50 / 60 Гц, около 150 кВА. |
| 140 Q / мин или выше |
180 Q / мин или выше |
180 Q / мин или выше |
| 0,5 МПа или выше |
0.5 МПа или больше |
0.5 МПа или больше |
| Около 8500 кг. |
Около 10 000 кг. |
Около 11 200 кг. |
Если спецификации будут изменены, не сообщайте об этом дополнительно.
Индивидуальная оптическая тонкопленочная машина
планетарный купол
Эта оптическая тонкопленочная машина для нанесения покрытий оснащена планетарными куполами и источниками ионов и подходит для покрытия отражателей и линз с высокой кривизной.
Характеристики
Планетарный купол повышает однородность покрытия на основе материала.
Угол купола может быть наклонен в зависимости от кривизны линзы.
Система IAD значительно улучшила качество пленки.
Высокоточные спектральные характеристики на сферической базе могут быть получены с высокой точностью с помощью оптических мониторов.
Крупные камеры с куполом планеты (диаметр 1800 мм) повышают производительность.
Оптические тонкопленочные покрытия для пластмассовых покрытий
Эта оптическая тонкопленочная краска была недавно разработана для нанесения на пластиковую основу. Наша уникальная технология позволяет создавать покрытия на различных пластмассовых материалах, таких как PMMA, поликарбонат, Zeonex и т.д.
Характеристики
Оптимизация конструкции пластмассовых покрытий
Высококачественные оптические пленки, изготовленные на пластмассах с помощью специальных процессов нанесения покрытий.
3.Пройдите строгие экологические испытания.
4.Программа ACS реализует процесс автоматического покрытия.
инфракрасный фильтр
Эта оптическая тонкопленочная краска была недавно разработана для покрытия инфракрасного фильтра. Оптическая толщина контролируется и контролируется в диапазоне длин волн от 1700 до 5500 нм.
Характеристики
1. Монитор толщины оптической пленки: диапазон длин волн = 1700 - 5500 нм; Разрешение длины волны = 3 - 50 нм (регулируемое)
2. Монитор толщины оптической пленки; Устойчивость силы света в инфракрасном диапазоне составляет ± 0,05%.
3. Оптимизация осаждения высококачественных инфракрасных фильтров с высокой оптической производительностью и воспроизводимостью
Сканирование микроканалов
English
русский
한국어
Deutsch
español
italiano
العَرَبِيَّة