ОВЛС-1800-Шэньчжэньская компания по измельчению и технологии Tengyu.

ОВЛС-1800

Оптический пластинный уровень распыления покрытия

OWLS-1800 является горизонтальным металлическим распылителем для покрытия пластинной оптики (WLO).

Система может непосредственно покрывать фильтры пропускной полосы на пластинках устройства, используемых для датчиков TOF и близости.

Особенности:

1. До 12" пластинок

2. Планетарная система вращения пластин

3. Разработанный для покрытия низких частиц

4. Оптический монитор толщины (вариант)

5. Интеграция EFEM и соблюдение стандартов SEMI (вариант)

Подробности о продукте

Спецификации OWLS-1800

Вакуумная камера	LL Комната TR Комната PR
держатель субстрата	10 шт (Макс 12 дюймов)
Ротарная Substrarte барабанная система	φ1800 мм, тип поворотного стола, 10 об/мин - 60 об/мин * Тип вращения планеты
Источник реакции	ICP (индуктивно соединенная плазма)
Источник распыления	Двойный ротационный катод (тип планера доступен в качестве опции)
Эвакуационная система	Грубый насос, Турбо молекулярный насос, Meissner chiller
Производительность
Конечное давление	LL Комната, TR Комната: 10 Па PR Комната: ≤5.0 × 10-4 Па
Скорость снижения насоса	LL Room, TR Room：5 мин (от атмосферного до 10 Па) PR Room：40 мин (от атмосферного до 5,0 × 10-3 Па)
Коммунальные требования
След	6500 мм (Ш) × 6000 мм (Г) × 3000 мм (В)
Питание	3-фазный N G, 380V ± 5%, 150 кВА, 50/60 Гц
Min. скорость потока воды	215 К/мин или больше
Давление воздуха	0,5 - 0,7 МПа
Вес	13500 кг приблизительно.